[发明专利]一种太阳能电池及其芯片和该芯片的制备方法在审
申请号: | 201711446783.6 | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN108091712A | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 潘志平;庞瑞卿;陆羽;贾虎 | 申请(专利权)人: | 安徽银欣新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0352 | 分类号: | H01L31/0352;H01L31/042;H01L31/048;H01L31/072;H01L31/18;H01L31/0216 |
代理公司: | 安徽知问律师事务所 34134 | 代理人: | 韦超峰;胡锋锋 |
地址: | 243000 安徽省马鞍山市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池芯片 芯片 制备 太阳能电池 导热基板 基板 源区 散热陶瓷 非导电 光刻胶 金属片 禁带 太阳能电池技术 光电转换效率 制备透明电极 非导电陶瓷 太阳能光谱 衬底表面 激光剥离 结构表面 芯片集成 太阳光 增透膜 衬底 多段 去除 剥离 吸收 | ||
1.一种太阳能电池芯片,其特征在于:包括导热基板(10)以及集成于导热基板(10)上的多个不同禁带宽度的太阳能电池芯片,所述的太阳能电池芯片包括非导电散热陶瓷基板(9)及固定于非导电散热陶瓷基板(9)上的源区结构。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池芯片,其特征在于:所述的源区结构包括自下而上依次设置的n型氮化镓层(2)、多量子阱层(3)和p型氮化镓层(4)。
3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池芯片,其特征在于:所述源区结构的上方还依次设有透明电极(5)和增透膜(6),且所述增透膜为二氧化硅/氮化硅薄膜的周期结构。
4.根据权利要求2或3所述的一种太阳能电池芯片,其特征在于:所述n型氮化镓层(2)的厚度为1~5μm,多量子阱层(3)的材料为In
5.根据权利要求1-3中任一项所述的一种太阳能电池芯片,其特征在于:所述源区结构与非导电散热陶瓷基板(9)之间,以及非导电散热陶瓷基板(9)与导热基板(10)之间均通过焊接固定相连;所述的导热基板(10)由铝或铜金属材料制成,其宽度为1~20毫米,其厚度为200~550μm。
6.一种如权利要求1-5中任一项所述的太阳能电池芯片的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一、太阳能电池芯片的制备
a1、选取衬底(1),在衬底(1)表面向上外延源区结构;
a2、在源区结构表面制备透明电极(5)和增透膜(6),形成p面透明电极,并在p面透明电极上刻上电极图形;
a3、在p面透明电极上旋涂一层光刻胶(7),并盖上金属片(8),然后烘干;
a4、在衬底(1)背面,利用激光剥离工艺,剥离出衬底(1);
a5、利用共晶焊工艺将剥离掉衬底(1)的太阳能电池芯片焊接到具有电极图形的非导电陶瓷基板上(9);
a6、利用有机溶液清洗太阳能芯片,去除光刻胶(7)和金属片(8),即得太阳能电池芯片;
步骤二、太阳能电池芯片的集成
采用步骤一中的方法制备不同禁带宽度的太阳能电池芯片,并将不同芯片集成至同一导热基板上(10),从而实现多禁带宽度太阳能电池芯片的制备。
7.根据权利要求6所述的一种太阳能电池芯片的制备方法,其特征在于:所述的衬底(1) 采用蓝宝石,所述的源区结构包括自下而上依次设置的n型氮化镓层(2)、多量子阱层(3)和p型氮化镓层(4),步骤a2中先利用腐蚀工艺刻蚀p型氮化镓层(4)表面,然后利用PECVD技术在p型氮化镓层(4)表面制备透明电极(5)和增透膜(6)。
8.根据权利要求7所述的一种太阳能电池芯片的制备方法,其特征在于:所述步骤a2中采用高浓度氢氧化钾或浓磷酸对p型氮化镓层(4)表面进行刻蚀,高浓度氢氧化钾及浓磷酸的质量浓度为90~98%,刻蚀时间为10~60秒,刻蚀温度为180~400℃;所述PECVD技术的生长温度控制在200~580℃,反应腔压力控制在0.4~1个大气压。
9.根据权利要求6-8中任一项所述的一种太阳能电池芯片的制备方法,其特征在于:所述步骤a4中采用脉冲激光进行辐照来剥离衬底(1),脉冲辐照激光的脉宽为20~100ns,激光波长为240~360nm;步骤a6中采用丙酮清洗去除光刻胶(7)和金属片(8)。
10.一种太阳能电池,包括太阳能电池芯片,其特征在于:所述的太阳能电池芯片采用权利要求6-9中任一项所述的方法制备得到,将上述多带隙宽度的太阳能电池芯片进行封装即得太阳能电池组件。
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