[发明专利]一种抗冲击型石英摆片及其加工方法在审
申请号: | 201711447152.6 | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN108037313A | 公开(公告)日: | 2018-05-15 |
发明(设计)人: | 王勇;杨峰;彭志高;黄勇 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
主分类号: | G01P15/00 | 分类号: | G01P15/00 |
代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 黄河 |
地址: | 400060 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 冲击 石英 及其 加工 方法 | ||
1.一种抗冲击型石英摆片,包括外环以及与所述外环通过挠性桥连接的摆舌,其特征在于,还包括输出轴向限位结构及摆动轴向限位结构,其中:
所述输出轴向限位结构沿所述石英摆片的输出轴方向设置在所述外环的内侧壁的两侧;
所述摆动轴向限位结构沿所述石英摆片的摆动轴方向设置在所述外环的内侧壁的两侧。
2.如权利要求1所述的冲击型石英摆片,其特征在于,所述外环的外侧面上设置有对中槽,所述对中槽处于所述外环与所述挠性桥连接的一侧且在所述石英摆片的摆动轴上。
3.一种抗冲击型石英摆片的加工方法,其特征在于,所述抗冲击型石英摆片的加工方法用于加工如权利要求1所述的抗冲击型石英摆片,包括:
采用激光切割结合氢氟酸刻蚀相结合的方法,加工所述外环与所述摆舌间的镂空间隙;
采用激光切割结合氢氟酸刻蚀相结合的方法,加工所述外环与所述挠性桥间的镂空间隙;
采用激光打孔加工所述摆舌上的中心孔;
采用氢氟酸刻蚀的方法减薄所述挠性桥直至满足要求的厚度;
所述激光小于10皮秒激光。
4.如权利要求1所述的抗冲击型石英摆片的加工方法,其特征在于,所述外环的外侧面上设置有对中槽,所述对中槽处于所述外环与所述挠性桥连接的一侧且在所述石英摆片的摆动轴上。
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