[发明专利]双导轨测量平台及其测量目标坐标的方法

权利要求书

1.一种双导轨测量平台，其特征在于，包括：

间隔设置的两个X轴导轨，两个X轴导轨的一侧分别固定有X轴主光栅尺和X轴副光栅尺；

X方向移动平台，与两个X轴导轨相配合，设有在移动时读取所述X轴主光栅尺的第一主读数头和读取所述X轴副光栅尺的第一副读数头；

间隔设置的两个Y轴导轨，由所述X方向移动平台带动所述Y轴导轨相对X轴导轨前进，两个Y轴导轨的一侧分别固定有Y轴主光栅尺和Y轴副光栅尺；

Y方向移动平台，与两个Y轴导轨相配合，设有在移动时读取所述Y轴主光栅尺的第二主读数头和读取所述Y轴副光栅尺的第二副读数头；

还包括X方向驱动机构和Y方向驱动机构，其中X方向驱动机构和Y方向驱动机构均为单驱。

2.根据权利要求1所述的双导轨测量平台，其特征在于，还包括控制系统，所述控制系统用以接收所述第一主读数头、第一副读数头、第二主读数头和第二副读数头的数据信息。

3.根据权利要求2所述的双导轨测量平台，其特征在于，还包括与所述控制系统连接的显示装置，用以显示所述数据信息。

4.根据权利要求1所述的双导轨测量平台，其特征在于，所述X方向驱动机构包括位于两个X轴导轨正中间用以驱动X方向移动平台前进的滚珠丝杠；所述Y方向驱动机构包括位于两个Y轴导轨正中间用以驱动Y方向移动平台前进的滚珠丝杠。

5.根据权利要求4所述的双导轨测量平台，其特征在于，所述X方向驱动机构还包括驱动所述滚珠丝杠的伺服电机，所述Y方向驱动机构还包括驱动所述滚珠丝杠的伺服电机。

6.根据权利要求1所述的双导轨测量平台，其特征在于，还包括机台，所述两个X轴导轨、X轴主光栅尺和X轴副光栅尺均固定在机台上，所述Y轴导轨、Y轴主光栅尺和Y轴副光栅尺均固定在所述X方向移动平台上。

7.根据权利要求6所述的双导轨测量平台，其特征在于，X轴主光栅尺和第一主读数头以上下方式或左右方式设置，X轴副光栅尺和第一副读数头以上下方式或左右方式设置，Y轴主光栅尺和第二主读数头以上下方式或左右方式设置，Y轴副光栅尺和第二副读数头以上下方式或左右方式设置。

8.一种使用如权利要求1所述双导轨测量平台测量目标坐标的方法，其特征在于，包括步骤：

获取X轴主光栅尺的读数x1和X轴副主光栅尺的读数x2，及获取Y轴主光栅尺的读数y1和Y轴副主光栅尺的读数y2；通过以下公式迭代求解目标的X坐标和Y坐标：

其中XD为Y轴主光栅尺和Y轴副光栅尺之间的间距，YD为X轴主光栅尺和X轴副光栅尺之间的间距，ya的初始值为x1，xa的初始值为y1，

xa为目标离开X轴主光栅尺的距离，ya为目标离开Y轴主光栅尺的距离，

将计算得到的X和Y分别代入公式右侧的xa和ya，重新计算X和Y，迭代N次，将计算得到X和Y作为目标的X坐标和Y坐标，N为自然数。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述N不大于3。

10.如权利要求8所述的方法，其特征在于，还包括步骤：当迭代求解得到的X坐标值与代入前X的坐标值的差值在预定范围内时，停止迭代求解。