[发明专利]透明脆性材料加工设备

权利要求书

1.一种透明脆性材料加工设备，其特征在于：包括控制模块、激光切割模块、超声聚焦模块和加工平台，所述激光切割模块包括激光发生器，及沿激光光路方向依次设置的激光整形单元、激光指向传输单元、激光扫描单元和激光聚焦单元，所述加工平台设置于激光聚焦单元的下方，所述超声聚焦模块与所述激光聚焦单元共轴设置，所述加工平台可多轴自由运动，所述控制模块用于控制激光切割模块和超声聚焦模块工作状态及加工平台的位移。

2.如权利要求1所述的透明脆性材料加工设备，其特征在于：所述超声聚焦模块与所述激光聚焦单元的焦点重合。

3.如权利要求2所述的透明脆性材料加工设备，其特征在于：所述加工平台的上面设有加工槽，所述加工槽内设有材料固定机构。

4.如权利要求3所述的透明脆性材料加工设备，其特征在于：所述加工槽内灌有液体，所述液体为水或油。

5.如权利要求4所述的透明脆性材料加工设备，其特征在于：还包括自适应平台，所述激光切割模块的激光聚焦单元和所述超声聚焦模块均设置于所述自适应平台，所述自适应平台由所述控制模块控制可沿竖直方向运动。

6.如权利要求5所述的透明脆性材料加工设备，其特征在于：所述激光发生器产生的激光波长为0.2-11.4μm。

7.如权利要求6所述的透明脆性材料加工设备，其特征在于：所述激光发生器产生的激光的脉冲宽度为皮秒级或飞秒级。

8.如权利要求7所述的透明脆性材料加工设备，其特征在于：所述超声聚焦模块为高强度聚焦超声系统，所述高强度聚焦超声系统产生的超声波频率为18KHz-10MHz。

9.如权利要求8所述的透明脆性材料加工设备，其特征在于：所述高强度聚焦超声系统产生的超声波频率与透明脆性材料的共振频率适配。