[发明专利]适用于脉冲激光镀膜的防污装置及其脉冲激光镀膜装置

权利要求书

1.一种适用于脉冲激光镀膜的防污装置，其特征在于，包括光路系统(2)；所述光路系统(2)包括挡板系统(213)；

挡板系统(213)包括多层挡板(2131)、挡筒(2132)；挡板(2131)设置有通光孔(21311)；多层挡板(2131)在挡筒(2132)内部沿轴向依次间隔排列；挡板(2131)边缘与挡筒(2132)内壁之间气密连接；多层挡板(2131)的通光孔(21311)之间同轴设置或者不同轴设置，且形成直线通路，允许一沿直线传播的光束通过；

所述光路系统(2)包括设置于镀膜腔体(3)内的挡片罩；所述挡片罩内设置有吸脏玻璃(27)；

在脉冲激光光束(21)的光路上，脉冲激光光束(21)先经过吸脏玻璃(27)，然后经过挡板系统(213)；

吸脏玻璃(27)暴露于入光口、出光口的区域构成接收脉冲激光光束(21)通过的光束通过区域，吸脏玻璃(27)能够相对挡片罩平动和/或转动，使得所述光束通过区域在吸脏玻璃(27)的不同区域之间切换；

将最靠近吸脏玻璃(27)的挡板记为第一个挡板；第一挡板距离吸脏玻璃(27)的距离S与溅射点距离吸脏玻璃(27)的距离L有如下的关系：S/L∈(0.35，0.7)；

沿脉冲激光光束(21)的光路方向，第N个挡板与吸脏玻璃(27)的间距S_N，满足S_N∈((S/2^N-1)×0.8，(S/2^N-1)×1.2)。

2.根据权利要求1所述的适用于脉冲激光镀膜的防污装置，其特征在于，挡片罩开设有入光口、出光口；脉冲激光光束(21)被引入镀膜腔体(3)内后依次经过入光口、吸脏玻璃(27)、出光口打向靶材(341)。

3.根据权利要求1所述的适用于脉冲激光镀膜的防污装置，其特征在于，吸脏玻璃(27)除光束通过区域之外的区域通过挡片罩的罩壳隔离于镀膜产生的粉尘。

4.根据权利要求1所述的适用于脉冲激光镀膜的防污装置，其特征在于，通光孔(21311)为一连续整体的通光孔，或者，通光孔(21311)为多个独立的通光孔。

5.根据权利要求1所述的适用于脉冲激光镀膜的防污装置，其特征在于，在脉冲激光光束(21)的光路上，最靠近靶材(341)的聚焦镜片(29)通过可伸缩的管道安装于镀膜腔体(3)的壳体上。

6.根据权利要求5所述的适用于脉冲激光镀膜的防污装置，其特征在于，所述管道位于镀膜腔体(3)的内部或者外部，能够调节聚焦距离。

7.一种脉冲激光镀膜装置，其特征在于，包括：激光器(1)、镀膜腔体(3)、权利要求1所述的适用于脉冲激光镀膜的防污装置；

所述激光器(1)产生脉冲激光光束(21)；所述光路系统(2)将脉冲激光光束(21)引入镀膜腔体(3)内部，使得位于镀膜腔体(3)内部的靶材(341)表面上形成羽辉(211)，来将靶材(341)的材料溅射到基带(336)上形成超导层。