[发明专利]一种在料舟表面沉积金属涂层的方法

权利要求书

1.一种在料舟表面沉积金属涂层的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

步骤1)去除料舟舟体表面毛刺；

步骤2)对料舟及镀膜工装进行清洗；

步骤3)涂层沉积，具体步骤为

步骤3.1)将料舟安装到镀膜工装上，露出要沉积涂层的部位；

步骤3.2)将料舟及镀膜工装安装至真空镀膜设备中，实现公转自转；

步骤3.3)抽真空至真空度优于3×10^-3Pa后，开启加热电源进行烘烤除气，直至加热温度达到200℃后，保温至真空镀膜设备真空度优于3×10^-3Pa；

步骤3.4)采用自辉光进行氩离子辉光溅射刻蚀清洗，向真空室送入氩气直到真空室的真空度在1～10Pa，脉冲负偏压1000V，占空比80％，持续5～20分钟；

步骤3.5)采用小多弧金属Mo靶，向真空室通入氩气直到真空室的压强为5～10Pa，调节靶电流在100～140A之间，并对工件施加脉冲电压300V，占空比150％，直流电压50V，进行离子镀沉积金属Mo涂层，涂层厚度1～10微米；

步骤3.6)随炉真空冷却至50℃，完成金属Mo涂层的沉积；

步骤3.7)取件并拆除工装；

所述的步骤2)对料舟及镀膜工装进行清洗，具体为：

步骤2.1)将料舟及镀膜工装放入盛有除油剂的水槽中，开启加热电源进行加热，直至加热温度达到50℃后，用软毛刷轻刷去除料舟及镀膜工装上的油污及灰尘；

步骤2.2)将料舟及镀膜工装用去离子水冲洗，去除料舟及镀膜工装上除油剂；

步骤2.3)将料舟及镀膜工装放入盛有干净无水酒精的超声波设备中清洗，持续10～30min；

步骤2.4)超声清洗后的料舟及镀膜工装用压缩空气吹干；

待沉积涂层的为用于高纯Mo粉还原炉的料舟，料舟本体材料为高温合金钢，由舟体及加强筋组成，需要沉积涂层的部位是在舟体的内壁，此时步骤3)中采用多弧离子镀进行金属Mo涂层沉积。

2.如权利要求1所述的一种在料舟表面沉积金属涂层的方法，其特征在于，所述的步骤3.2)中公转转速1～3转/min，自转2～6转/min。