[发明专利]一种具有自适应缓冲层的旋转靶材的制备方法

权利要求书

1.一种具有自适应缓冲层的旋转靶材的制备方法，其特征在于：在压实的靶材坯体与衬底之间加入一层圆环状自适应缓冲层；

具体包括以下步骤：

1)根据所要制备的旋转靶材，选定合适的内衬管、包套以及相应的缓冲层材料；

2) 在内衬管上喷涂一层多孔结构的圆环状自适应缓冲层，该缓冲层厚度为靶材坯体厚度的1/5-1/7；控制喷涂工艺及造孔剂的添加量使孔隙率在30%-40%；

3)对包套进行焊接组装，在装料之前用超声探伤和渗透探伤检验；按照制备的旋转靶材的厚度及长度称取相应的靶材原料粉末，若为混合粉按照相应的比例称取并混料；

4)将靶材原料粉末装入包套容器，进行真空除气，将包套容器封焊；

5)再采用热等静压加压烧结成型；

6)经热等静压成型后的靶材坯体直接与包套容器中的衬管达到固态结合，构成真空溅射镀膜用靶材模组；随炉冷却后简单的尺寸检查，肉眼检查是否有靶材破裂情况；

7)最后将坯料按照要求机加工至成品。

2.根据权利要求1所述的具有自适应缓冲层的旋转靶材的制备方法，其特征在于：衬底和缓冲层之间的接触面包括但不限于单一的光滑平面接触。

3.根据权利要求1所述的具有自适应缓冲层的旋转靶材的制备方法，其特征在于：衬底外表面加工成螺纹状。

4.根据权利要求1所述的具有自适应缓冲层的旋转靶材的制备方法，其特征在于：步骤2)中所述的多孔圆环状自适应缓冲层的喷涂方法包括但不限于等离子喷涂、超音速火焰喷涂。

5.根据权利要求1所述的具有自适应缓冲层的旋转靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤3)中混料为球磨混合或普通机械混合。

6.根据权利要求1所述的具有自适应缓冲层的旋转靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤4)中装料致密度达到理论密度的80％；除气的真空度达到4×10^-4Pa数量级。

7.根据权利要求1所述的具有自适应缓冲层的旋转靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤5) 中热等静压成型的步骤为：

A)洗炉充氩气至压力达到0.1-0.2MPa；

B)升温至800-1650℃后，对炉内充氩气至60-200MPa；

C)保温保压1- 6小时后，降温降压，随炉冷却至室温，最后出炉得到溅射镀膜用所需的靶材。