[发明专利]一种酸性蚀刻液再生循环方法在审

专利信息
申请号: 201711453601.8 申请日: 2017-12-28
公开(公告)号: CN109972139A 公开(公告)日: 2019-07-05
发明(设计)人: 罗宝奎;陈永江 申请(专利权)人: 广州市吉池环保科技有限公司
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46;C25C1/12;C23F1/18
代理公司: 北京君华知识产权代理事务所(普通合伙) 11515 代理人: 朱庆华
地址: 510700 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 酸性蚀刻液 再生蚀刻液 废液输送 酸雾吸收 再生循环 氯气 蚀刻废液 酸性蚀刻 电解铜 酸性蚀刻废液 氧化剂 电解槽阳极 析出 电解作用 蚀刻工艺 物料成本 电解槽 铜离子 阴极区 废液 盐酸 制备
【权利要求书】:

1.一种酸性蚀刻液的再生循环方法,包括如下步骤:

S1:将PCB酸性蚀刻线上产生的酸性蚀刻废液收集至蚀刻废液槽中;

S2:将蚀刻废液槽中的废液输送至电解槽中,通过电解作用在阴极区将废液中的铜离子析出形成电解铜片 ;

S3:将电解槽阳极区的废液输送至酸雾吸收缸中;

S4:向酸雾吸收缸中的废液输送氯气,通过与氯气的反应制备再生蚀刻液;

S5:将酸雾吸收缸中的再生蚀刻液输送至酸性蚀刻线(DES)中用于蚀刻工艺,实现酸性蚀刻液的再生循环。

2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液的再生循环方法,其特征在于,所述步骤S3中,将阳极区的电解液通过比重控制加入到所述酸雾吸收缸中,用于调配再生蚀刻液。

3.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液的再生循环方法,其特征在于,所述步骤S3还包括将阴极产生的低铜酸液排放到PCB废水处理中心进行处理。

4.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液的再生循环方法,其特征在于,所述步骤S4中所述的氯气为,电解槽阳极室产生的氯气,用于制备再生蚀刻液。

5.根据权利要求3所述的酸性蚀刻液的再生循环方法,其特征在于,所述步骤S4还包括:将盐酸和氧化剂自动添加至酸雾吸收缸中,用于调配再生液的参数。

6.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液的再生循环方法,其特征在于,所述步骤S4还包括:将再生蚀刻液通过自动添加控制系统对参数的控制监测,自动加入到DES蚀刻线中。

7.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液的再生循环方法,其特征在于,还包括步骤S6:将酸雾吸收缸中未被充分吸收的氯气及酸雾与废铁在铁屑还原缸中反应,制备得到三氯化铁。

8.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液的再生循环方法,其特征在于,所述酸性蚀刻液的再生循环方法还包括步骤S7:实时监控排放风管和车间氯气浓度。

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