[发明专利]一种传感器探头及气体检测装置在审

专利信息
申请号: 201711455177.0 申请日: 2017-12-27
公开(公告)号: CN108051404A 公开(公告)日: 2018-05-18
发明(设计)人: 刘统玉;宁雅农;金光贤;王寅;李艳芳;胡杰 申请(专利权)人: 山东微感光电子有限公司
主分类号: G01N21/39 分类号: G01N21/39
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 毕翔宇
地址: 250000 山东省济南市*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 传感器 探头 气体 检测 装置
【说明书】:

发明实施例提供的一种传感器探头及气体检测装置,属于光电气体传感器技术领域。该传感器探头通过将所述第一光探测器通过所述第一通孔与所述第一反射镜连通,所述第二光探测器通过所述第二通孔与所述第一反射镜连通,所述第二光探测器与所述第二反射镜连通,所述第二反射镜通过所述第二通孔与所述第一反射镜连通,所述第二反射镜通过所述第三通孔与所述第三反射镜连通,所述第三光探测器通过所述第四通孔与所述第三反射镜连通,从而形成一个完整的测试光路。不但在减小了传感器探头的体积的同时增加了光程,而且极大的提高了光路的稳定性和可靠行,同时也降低了生产加工成本。

技术领域

本发明涉及光电气体传感器技术领域,具体而言,涉及一种传感器探头及气体检测装置。

背景技术

近年,随着人们对环境和生产安全的要求日益提高,众多气体检测技术不断出现,其中基于红外激光光谱吸收原理来测量气体成分和浓度的光电技术具有测量浓度范围大,测量精度高,不需要校正时间长等优良的特性,使激光光谱气体传感器能够广泛的应用到不同的生产过程和安全防范领域。

光学光谱吸收气体传感器包括红外光谱吸收型和红外激光光谱吸收型。由于不同气体在红外区具有其不同的特征光谱吸收峰,当被测气体通过红外光或红外激光,其光强度在特征光谱吸收峰出将由被测气体调制,光强度调制的幅度和被测气体的浓度成正比,因此通过检测和分析红外吸收峰出的光强变化,可以对被侧气体的浓度检测。

相对而言,光学光谱吸收气体传感器具较有高的抗气体交叉干扰能力,特别是激光光谱气体传感器,具有良好的抗气体交叉干扰能力。结合现代的电子处理技术,这些传感器能够实现对被测气体的连续测试、自动运行的功能;具有自动校正,测量精度高,反应时间快的特性。这类传感器可以用于很多工业生产过程,如在石化、采矿、半导体工业等工矿生产检测和报警,例如硫化氢、氧气、一氧化碳、二氧化碳、氯气、甲烷和可燃的碳氢化合物等是主要检测气体。而检测磷、砷和硅烷等物品则时半导体工业中的主要应用。这些传感器也可以用于公共环境和家庭环境的安全检测和报警。家庭中主要用于检测煤气,天燃气和液化气的泄漏和安全提示报警。

一般气体传感器的气室大多采用激光源和探测器之间的空间作为气室。在传感器的体积受到限制的情况下,为了提高测量光程长度,测量气室采用镜面或反射体将光路在气室里多次反射的方法实现。因为传感器的光学结构复杂,每个元件的相对位置的变化都会影响测量精度。同时,由于采用的元件多,增加了生产工艺复杂性和降低成品率,不利于大规模生产。因此,如何解决上述问题是本技术领域亟待解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种传感器探头及气体检测装置,其能够克服上述技术问题。

本发明的实施例是这样实现的:

一种传感器探头,其包括光路模块、第一光探测器、第二光探测器、第三光探测器、第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜,所述光路模块内开设有第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔,所述第一光探测器通过所述第一通孔与所述第一反射镜连通,所述第二光探测器通过所述第二通孔与所述第一反射镜连通,所述第二光探测器与所述第二反射镜连通,所述第二反射镜通过所述第二通孔与所述第一反射镜连通,所述第二反射镜通过所述第三通孔与所述第三反射镜连通,所述第三光探测器通过所述第四通孔与所述第三反射镜连通,所述第一光探测器用于接收平行激光源发出的探测平行光束,并经所述第一通孔到达所述第一反射镜,然后经过所述第一反射镜的反射,将所述探测平行光束通过所述第二通孔反射至所述第二反射镜,再由所述第二反射镜将所述探测平行光束通过所述第三通孔反射到所述第三反射镜,所述第三反射镜将所述探测平行光束通过所述第四通孔反射到所述第三光探测器,以及再由所述第二反射镜将所述探测平行光束部分反射到所述第二光探测器。

在本发明较佳的实施例中,上述第二反射镜为半透半反镜。

在本发明较佳的实施例中,上述第二反射镜的反射率为80%。

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