[发明专利]一种绝氧气体的脱水除氧方法

权利要求书

1.一种绝氧气体的脱水除氧方法，其步骤包括，

（1）将市售高纯绝氧气体先后经过4A分子筛柱和5A分子筛柱进行初滤；所述市售高纯绝氧气体为氮气、氩气、氢气或氦气，纯度为不低于99.999%V/V的高纯绝氧气体，其水、氧含量均不大于3ppmV/V；

（2）初滤后的气体通过金属有机源液进行深度除水和氧；

（3）再将气体通过活性炭柱处理，即得到超高纯度绝氧气体。

2.如权利要求1所述绝氧气体的脱水除氧方法，其特征在于，步骤（2）所述金属有机源液为三甲基铝、三乙基铝、三甲基镓、三乙基镓或金属有机源提纯后残液；所述金属有机源为三甲基铝、三乙基铝、三甲基镓或三乙基镓。

3.如权利要求1所述绝氧气体的脱水除氧方法，其特征在于，步骤（3）所述活性炭柱中的活性炭粒度在60-100目，比表面积在2600-2800m²/g。

4.如权利要求1所述绝氧气体的脱水除氧方法，其特征在于，所述金属有机源液中加入液态有机胺，使金属有机源的质量含量在10-20%，有机胺为三丁胺、三辛胺或二苯胺中的一种或多种组合。

5.如权利要求1所述绝氧气体的脱水除氧方法，其特征在于，步骤（1）中所述4A分子筛柱和5A分子筛柱中的分子筛分别进行活化处理，活化过程的真空度小于300Pa，活化温度不超过450℃，其中，100～200℃低温脱水阶段保持3-6h；200～450℃快速升温阶段，升温速率5-8℃/min；400-450℃高温脱除残余水阶段保持0.5-1h，活化后在超高纯绝氧气体中冷却至室温。