[发明专利]一种制备W和N共掺杂类金刚石薄膜的方法在审
| 申请号： | 201711456568.4 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108085642A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;沈洪雪;姚婷婷;杨勇;金克武 | 申请（专利权）人： | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 尹杰 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 类金刚石薄膜 共掺杂 制备 薄膜 氮气 样品置于样品 超声波清洗 旋转样品台 氩气 衬底材料 高电阻率 高透过率 润滑性能 氩气轰击 抽真空 预溅射 靶材 掺入 高阻 起辉 | ||
1.一种制备W和N共掺杂类金刚石薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、对衬底材料进行超声波清洗，去除表面油污和杂质；
步骤二、把样品置于360°无死角旋转的样品台上；
步骤三、启动设备，抽真空，真空度达到2.5*10
步骤四、通过氩气轰击W、C两靶材，活化靶材和去除表层氧化物；
步骤五、通入氮气，启动旋转样品台，制备W、N共掺杂类金刚石薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种制备W和N共掺杂类金刚石薄膜的方法，其特征在于：所述衬底材料为玻璃。
3.根据权利要求1所述的一种制备W和N共掺杂类金刚石薄膜的方法，其特征在于：步骤四中所述真空度为3.0*10
4.根据权利要求1所述的一种制备W和N共掺杂类金刚石薄膜的方法，其特征在于：所述旋转样品台包括样品架（1），在样品架（1）上设有旋转座（2），在旋转座（2）上转动配合连接伸缩杆（3），伸缩杆（3）通过球头（4）连接支撑杆（5），在支撑杆（5）上固定连接托盘（6）。
5.根据权利要求4所述的一种制备W和N共掺杂类金刚石薄膜的方法，其特征在于：所述样品架（1）为杆状结构，所述旋转座（2）包括与样品架（1）套接的转筒（7），在转筒（7）上通过铰接座（8）连接所述伸缩杆（3），转筒（7）通过第一锁紧件（9）锁紧固定在所述样品架（1）上，所述伸缩杆（3）通过第二锁紧件（10）锁紧固定在所述铰接座（8）上。
6.根据权利要求4所述的一种制备W和N共掺杂类金刚石薄膜的方法，其特征在于：所述伸缩杆（3）包括底杆（11），在底杆（11）上套接调节杆（12），在调节杆（12）的一侧设有套接在底杆（11）上的套筒（13），调节杆（12）连接所述球头（4），底杆（11）和所述调节杆（12）之间通过第三锁紧件（14）锁紧固定。
7.根据权利要求1所述的一种制备W和N共掺杂类金刚石薄膜的方法，其特征在于：在整个镀膜过程中所述W、C两靶材都是单独起辉。
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