[发明专利]用于硬脆材料的超短脉冲激光加工设备

权利要求书

1.一种用于硬脆材料的超短脉冲激光加工设备，其特征在于，包括机架、工作台、夹具、激光器组件以及相对于所述工作台在第一方向、第二方向和第三方向运动的三维运动机构，所述第一方向、第二方向和第三方向两两垂直，所述工作台安装在所述机架上，所述夹具安装在所述三维运动机构上，所述激光器组件包括超快激光器、光学模组、振镜以及场镜，所述超快激光器、所述光学模组安装在所述机架上，所述振镜和所述场镜安装在所述三维运动机构上。

2.根据权利要求1所述的用于硬脆材料的超短脉冲激光加工设备，其特征在于，所述机架包括主架体、支撑腿以及龙门框架，所述支撑腿安装在所述主架体的底部，所述龙门框架安装在所述主架体上，所述超快激光器、所述光学模组安装在所述龙门框架上。

3.根据权利要求2所述的用于硬脆材料的超短脉冲激光加工设备，其特征在于，所述支撑腿为伸缩结构。

4.根据权利要求3所述的用于硬脆材料的超短脉冲激光加工设备，其特征在于，所述支撑腿包括第一腿部、第二腿部以及调节旋钮，所述第一腿部插接在所述第二腿部内，所述第一腿部相对于所述第二腿部沿所述第二腿部的长度方向往复滑动，所述调节旋钮螺接在所述第二腿部上，所述调节旋钮的端部能够抵紧在所述第一腿部的外周面上。

5.根据权利要求1－4中任一项所述的用于硬脆材料的超短脉冲激光加工设备，其特征在于，所述工作台为花岗岩板。

6.根据权利要求1－4中任一项所述的用于硬脆材料的超短脉冲激光加工设备，其特征在于，所述三维运动机构包括沿所述第一方向运动的第一运动平台、沿所述第二运动方向运动的第二运动平台、沿所述第三方向运动的第三运动平台，所述第一方向为垂直于所述工作台的上下运动方向，所述第二方向为平行于所述工作台的左右运动方向，所述第三方向为平行于所述工作台的前后运动方向，所述振镜和所述场镜安装在所述第一运动平台上，所述第二运动平台安装在所述工作台上，所述第三运动平台安装在所述第二运动平台上，所述夹具安装在所述第三运动平台上。

7.根据权利要求6所述的用于硬脆材料的超短脉冲激光加工设备，其特征在于，所述加工设备还包括显微相机，所述显微相机安装在所述第一运动平台上。

8.根据权利要求6所述的用于硬脆材料的超短脉冲激光加工设备，其特征在于，所述夹具包括承载板以及至少三个装夹件，每个所述承载板上设置有至少三条滑动槽，至少三个所述装夹件一一对应卡接在至少三条所述滑动槽中，所述装夹件滑动设置在所述滑动槽内，且所述装夹件与所述承载板之间具有用于限制所述装夹件的位置的限位结构，至少三个所述装夹件围成装夹空间。

9.根据权利要求8所述的用于硬脆材料的超短脉冲激光加工设备，其特征在于，所述装夹件包括基部以及装夹部，所述装夹部转动设置在所述基部上，所述装夹部与所述基部的转动轴线垂直于所述工作台，所述基部滑动设置在所述滑动槽内，所述基部与所述承载板通过螺栓连接。

10.根据权利要求9所述的用于硬脆材料的超短脉冲激光加工设备，其特征在于，所述装夹部上安装有缓冲层。