[发明专利]一种金属薄膜在线清洗方法

权利要求书

1.一种金属薄膜在线清洗方法，应用于金属薄膜生产线上，其特征在于，所述金属薄膜在线清洗方法依次包括步骤：

S1，提供压缩空气对金属薄膜进行压缩空气喷洗；

S2，对金属薄膜进行水蒸气清洗；

S3，干燥处理金属薄膜；

S4，对金属薄膜进行等离子体清洗。

2.根据权利要求1所述的金属薄膜在线清洗工艺，其特征在于，所述步骤S1应用清洗装置包括用于提取空气并过滤产生洁净的压缩气体的空气压缩机、连通空气压缩机的出气口、用于调节出气压力的压力调节阀；

所述步骤S1具体包括：使用空气压缩机提取空气并将空气中的水、颗粒物过滤，生成洁净的压缩气体，通过出气口使用洁净压缩气体对金属薄膜进行在线喷洗。

3.根据权利要求2所述金属薄膜在线清洗工艺，其特征在于，所述压缩空气出气压力为0.2-0.3bar。

4.根据权利要求1所述的金属薄膜在线清洗工艺，其特征在于，所述步骤S2应用清洗装置包括用于提取纯净水并将纯净水加工生成水蒸汽的蒸汽发生器、连通蒸汽发生器的蒸汽出口；

所述步骤S2具体包括：蒸汽发生器将提取的纯净水生成水蒸汽，水蒸汽通过蒸汽出口喷出，并对金属薄膜进行浴洗。

5.根据权利要求1所述的金属薄膜在线清洗工艺，其特征在于，所述步骤S3使用干燥装置包括用于加热空气并提供暖风的暖风机、连通暖风机的暖风出口；

所述步骤S3具体包括：暖风机提取洁净空气，加热生成暖风，用于干燥金属薄膜。

6.根据权利要求5所述的金属薄膜在线清洗工艺，其特征在于，所述暖风温度为60-80℃，循环流速为1-3m³/min。

7.根据权利要求1所述的金属薄膜在线清洗工艺，其特征在于，所述步骤S4使用等离子体清洗装置；

所述步骤S4具体包括：等离子体清洗机提取洁净气体，使用射频电源使空气电离产生高能量的无序等离子体，通过等离子体轰击金属薄膜表面对金属薄膜进行清洗。

8.根据权利要撸7所述的金属薄膜在线清洗工艺，其特征在于，所述洁净气体包括O₂、H₂、N₂、Ar。

9.根据权利要撸7所述的金属薄膜在线清洗工艺，其特征在于，所述射频电源功率为0-600W。

10.根据权利要求1-9任一所述金属薄膜在线清洗工艺，其特征在于，在线清洗过程中金属薄膜给进速度为0-600mm/min。