[发明专利]真空腔室和真空腔室的门的上锁方法

权利要求书

1.一种真空腔室，其特征在于，包括：

具有收纳被处理基板的空间的、在上部具有第1开口部的容器；

开闭所述第1开口部的第1盖；

对所述容器内进行排气的排气装置；

设置在所述容器的侧面的、用于操作者进入所述容器内的门；

对所述门进行上锁和解锁的上锁部；

检测阻碍所述第1盖封闭所述第1开口部的介入部件是否已安装在所述第1开口部的传感器；和

控制装置，其控制所述上锁部，使所述上锁部以所述第1盖被打开并且由所述传感器检测出所述介入部件已安装在所述第1开口部为条件来解锁所述门。

2.如权利要求1所述的真空腔室，其特征在于：

所述门在所述容器的侧面设置有2个以上。

3.一种真空腔室，其特征在于，包括：

具有收纳被处理基板的空间的、在上部具有第1开口部的容器；

开闭所述第1开口部的第1盖；

对所述容器内进行排气的排气装置；

设置在所述容器的侧面的、用于操作者进入所述容器内的门；

对所述门进行上锁和解锁的上锁部；和

控制装置，其控制所述上锁部，使所述上锁部以所述第1盖被打开并且阻碍所述第1盖封闭所述第1开口部的介入部件已安装在所述第1开口部为条件来解锁所述门，

所述门在所述容器的侧面设置有2个以上

所述真空腔室还包括：

检测各个所述门的开闭的开闭检测部；

检测各个所述门的全开状态的全开检测部；和

利用声音和光的至少任一者发出警报的报警部，

控制装置，当通过所述开闭检测部检测到至少任一个所述门开放时，控制所述报警部发出所述警报直至检测到全部的所述门的全开状态。

4.如权利要求3所述的真空腔室，其特征在于，还包括：

禁止所述介入部件的移除的禁止部，

所述控制装置在检测到全部的所述门的全开状态时，控制所述禁止部以禁止所述介入部件的移除。

5.如权利要求4所述的真空腔室，其特征在于：

所述控制装置在全部的所述门已关闭时，控制所述禁止部以解除所述介入部件的移除的禁止。

6.如权利要求5所述的真空腔室，其特征在于：

所述控制装置控制所述上锁部，使得所述上锁部以所述介入部件已被从所述第1开口部移除并且所述第1盖被关闭为条件将所述门上锁。

7.如权利要求1至6中任一项所述的真空腔室，其特征在于：

所述门包括：具有第2开口部的框部件；封闭所述框部件的所述第2开口部的第2盖；和将所述第2盖固定在所述框部件的固定部件，

所述固定部件在所述门关闭着的状态下通过操作者从所述容器的面向内侧一侧进行的手动操作，解除所述第2盖相对于所述框部件的固定。

8.一种真空腔室的门的上锁方法，其特征在于：

所述真空腔室包括：

具有收纳被处理基板的空间的、在上部具有开口部的容器；

开闭所述开口部的盖；

对所述容器内进行排气的排气装置；和

在所述容器的侧面设置有2个以上的、用于操作者进入所述容器内的多个门；

所述真空腔室的门的上锁方法包括：

以所述盖开放所述开口部，并且阻碍所述盖封闭所述开口部的介入部件已安装在所述开口部为条件，解锁各个所述门的步骤；

当至少任一所述门开放了时，利用声音和光的至少任一者发出警报直至全部的所述门成为全开状态的步骤；

当全部的所述门成为全开状态时，控制禁止所述介入部件的移除的禁止部来禁止移除所述介入部件的步骤；

当全部的所述门已关闭时，控制所述禁止部解除所述介入部件的移除的禁止的步骤；和

以所述介入部件从所述开口部被移除并且所述盖被关闭为条件将所述门上锁的步骤。