[发明专利]一种四头式激光蚀刻机在审
| 申请号： | 201711459491.6 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108115287A | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 陶雄兵;李贵群;昌斌;严达荣;徐俊南 | 申请（专利权）人： | 鞍山盛雄激光设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/064;B23K26/142;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张春水;唐京桥 |
| 地址： | 114000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 振镜 激光蚀刻机 场镜 定位系统 激光发生器 工作平台 光路系统 机柜底座 生产效率 左右并列 扩束镜 同轴 清洁度 并列设置 抽风组件 激光蚀刻 加工工序 蚀刻工件 中心轴线 工位 平行 节约 加工 | ||
1.一种四头式激光蚀刻机，包括：机柜底座和位于所述机柜底座上方的工作平台，其特征在于，所述工作平台上设有定位系统和并列设置的四组光路系统；所述每组光路系统依次包括：激光发生器、扩束镜、振镜和场镜，所述激光发生器、扩束镜和振镜同轴；所述场镜位于所述振镜的下方，并与所述振镜同轴；所述场镜连接抽风组件，用于保持蚀刻工件表面的清洁度；
所述定位系统与所述振镜和所述场镜的中心轴线平行，包括左右并列设置的两个CCD视觉系统。
2.根据权利要求1所述的四头式激光蚀刻机，其特征在于，所述激光发生器连接有光隔离器。
3.根据权利要求1所述的四头式激光蚀刻机，其特征在于，还包括：光路外罩，所述光路系统设在光路外罩内，所述光路外罩包括光路底板，所述光路底板背离所述光路通道的一侧设有用于连接所述工作平台的第一安装板。
4.根据权利要求3所述的四头式激光蚀刻机，其特征在于，所述光路系统通过固定架可拆卸安装在所述光路底板上。
5.根据权利要求3所述的四头式激光蚀刻机，其特征在于，所述扩束器连接调整架，所述调整架上设有连接所述光路底板的固定部。
6.根据权利要求3所述的四头式激光蚀刻机，其特征在于，所述CCD视觉系统通过第二安装板固定于所述光路底板上。
7.根据权利要求6所述的四头式激光蚀刻机，其特征在于，所述CCD视觉系统包括CCD镜头和保护罩，所述CCD镜头设在保护罩内，所述CCD镜头通过CCD固定块固定于所述第二安装板上。
8.根据权利要求1所述的四头式激光蚀刻机，其特征在于，所述工作平台包括立柱和横板，所述光路系统和CCD视觉系统设在所述立柱的顶部，所述立柱的底部与所述横板垂直连接，所述横板连接部连接所述机柜底座。
9.根据权利要求1所述的四头式激光蚀刻机，其特征在于，还包括：吸附平台，所述吸附平台位于所述CCD视觉系统的下方，所述抽风组件的出风口正对所述吸附平台。
10.根据权利要求9所述的四头式激光蚀刻机，其特征在于，还包括：运动平台，所述运动平台位于所述吸附平台的下方，并连接所述吸附平台。
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