[发明专利]用于从气溶胶颗粒生成元素离子的离子源和方法有效
| 申请号： | 201711460682.4 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108695135B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | U·罗纳 | 申请（专利权）人： | 托夫沃克股份公司 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人： | 赵飞;郭红丽 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 气溶胶 颗粒 生成 元素 离子 离子源 方法 | ||
1.一种用于从气溶胶颗粒生成元素离子和潜在的电离金属氧化物的离子源(50、150)，其包含：
a)具有内部的减压室(61)；
b)入口(56)和限流装置(60)，其用于将包含分散在气体中的所述气溶胶颗粒的分散体中的所述气溶胶颗粒引入所述减压室(61)的所述内部，所述入口(56)经由所述限流装置(60)将所述减压室(61)的外部与所述减压室(61)的所述内部流体耦合；
c)激光器(62)，其用于在所述减压室(61)的所述内部的等离子体区(63)中诱导所述分散体中的等离子体，以用于将所述气溶胶颗粒原子化并电离成元素离子和潜在的电离金属氧化物，其中所述激光器(62)适用于在所述减压室(61)的所述内部的所述等离子体区(63)中诱导所述分散体的所述气体中的所述等离子体，以用于将所述气溶胶颗粒原子化并电离成元素离子；
其特征在于，所述减压室(61)适于在所述减压室(61)的所述内部实现并维持0.01mbar至100mbar范围内的压力。
2.根据权利要求1所述的离子源(50，150)，其特征在于，所述气体是空气。
3.根据权利要求1所述的离子源(50，150)，其特征在于，所述减压室(61)适于在所述减压室(61)的所述内部实现并维持0.1mbar至100mbar范围内的压力。
4.根据权利要求1所述的离子源(50，150)，其特征在于，所述减压室(61)适于在所述减压室(61)的所述内部实现并维持1mbar至100mbar范围内的压力。
5.根据权利要求1所述的离子源(50，150)，其特征在于，所述减压室(61)适于在所述减压室(61)的所述内部实现并维持0.1mbar至50mbar范围内的压力。
6.根据权利要求1所述的离子源(50，150)，其特征在于，所述减压室(61)适于在所述减压室(61)的所述内部实现并维持1mbar至50mbar范围内的压力。
7.根据权利要求1所述的离子源(50，150)，其特征在于，所述减压室(61)适于在所述减压室(61)的所述内部实现并维持0.1mbar至40mbar范围内的压力。
8.根据权利要求1所述的离子源(50，150)，其特征在于，所述减压室(61)适于在所述减压室(61)的所述内部实现并维持1mbar至40mbar范围内的压力。
9.根据权利要求1至8任一项所述的离子源(50，150)，其特征在于，用于去除所述分散体中的污染物的扩散管(64)，所述扩散管(64)将所述入口(56)与所述限流装置(60)流体耦合，以用于将所述分散体通过所述扩散管(64)并随后通过所述限流装置(60)引入所述减压室(61)的所述内部。
10.根据权利要求1至8任一项所述的离子源(50，150)，其特征在于，气体交换装置(52)，用于在将包含所述气溶胶颗粒的所述分散体引入所述减压室(61)的所述内部之前，用清洁等离子体气体交换所述分散体中的所述气体。
11.根据权利要求1至8任一项所述的离子源(50，150)，其特征在于，空气动力学透镜(57)或声学透镜，用于将所述气溶胶颗粒聚焦至所述减压室(61)的所述内部的聚焦区。
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