[发明专利]一种基于紫外固化的新型光栅复制方法

权利要求书

1.一种基于紫外固化的新型光栅复制方法，其特征在于，其包括如下步骤：

步骤S1：提供一母版光栅和基底；

步骤S2：对所述步骤S1所提供的母版光栅和基底进行超声波清洗；

步骤S3：在完成所述步骤S2后的母版光栅上均匀涂覆润滑油；

步骤S4：在完成所述步骤S3后的母版光栅上均匀涂覆紫外固化胶；

步骤S5：将所述步骤S1中所提供的所述基底置于经过所述步骤S4处理后的所述母版光栅上；并采用紫外光对其进行照射，使得所述紫外固化胶固化；

步骤S6：完成所述步骤S5后，将所述母版光栅和所述基底分离，使得在所述基底上形成复制光栅；

步骤S7：在所述复制光栅表面形成反射膜。

2.根据权利要求1所述的一种基于紫外固化的新型光栅复制方法，其特征在于，还包括步骤S8：

对完成所述步骤S7后的复制光栅进行超声波清洗。

3.根据权利要求1所述的一种基于紫外固化的新型光栅复制方法，其特征在于，在所述步骤S2中，对所述母版光栅和所述基底进行超声波清洗的步骤包括：

S201：将体积比为1:1:5的NH₄OH、H₂O₂和H₂O组成的混合液作为清洗液，用其对母版光栅和基底进行超声波清洗；

S202：将体积比为1:1:6的HCl、H₂O₂和H₂O组成的混合液作为清洗液，用其对完成所述步骤S201后的母版光栅和基底进行超声波清洗；

S203：将甲苯作为清洗液，用其对完成所述步骤S202后的母版光栅和基底进行超声波清洗；

S204：将丙酮作为清洗液，用其对完成所述步骤S203后的母版光栅和基底进行超声波清洗；

S205：将酒精作为清洗液，用其对完成所述步骤S204后的母版光栅和基底进行超声波清洗；

S206：将蒸馏水作为清洗液，用其对完成所述步骤S205后的母版光栅和基底进行超声波清洗。

4.根据权利要求1所述的一种基于紫外固化的新型光栅复制方法，其特征在于，在所述步骤S3中，在所述母版光栅上均匀涂覆润滑油的步骤包括：

S301：利用真空镀膜机将所用润滑油中所包含气泡抽出；

S302：通过旋涂法将经过所述步骤S301处理后的润滑油均匀涂覆于母版光栅的表面。

5.根据权利要求4所述的一种基于紫外固化的新型光栅复制方法，其特征在于，在所述步骤S302中，润滑油的涂覆速度为10000rpm，旋涂时间为15s，使得在所述母版光栅上形成厚度为10nm的润滑油层。

6.根据权利要求1所述的一种基于紫外固化的新型光栅复制方法，其特征在于，在所述步骤S4中，在所述母版光栅上均匀涂覆紫外固化胶的步骤包括：

S401：利用真空镀膜机将所用的紫外固化胶中所包含气泡抽出；

S402：通过匀胶机将经过所述步骤S401处理后的紫外固化胶均匀涂覆于母版光栅的表面。

7.根据权利要求6所述的一种基于紫外固化的新型光栅复制方法，其特征在于，在所述步骤S402中，紫外固化胶的涂覆速度为3000rpm，涂覆时间为30s，使得在所述母版光栅上形成厚度为10μm的紫外固化胶层。

8.根据权利要求1所述的一种基于紫外固化的新型光栅复制方法，其特征在于，在所述步骤S7中，是通过真空镀膜机以蒸镀的方式在所述复制光栅表面形成反射膜的。

9.根据权利要求2所述的一种基于紫外固化的新型光栅复制方法，其特征在于，在所述步骤S8中，对完成所述步骤S7后的复制光栅进行超声波清洗的步骤包括：

S801：将丙酮作为清洗液，用其对完成所述步骤S7后的复制光栅进行超声波清洗；

S802：将去离子水作为清洗液，用其对完成所述步骤S801后的复制光栅进行超声波清洗。

10.根据权利要求9所述的一种基于紫外固化的新型光栅复制方法，其特征在于，在所述步骤S801和所述步骤S802中超声波清洗的时间分别为10-30分钟。