[发明专利]一种碳化硅坩埚的搬运装置在审

专利信息
申请号: 201711466667.0 申请日: 2017-12-29
公开(公告)号: CN108100004A 公开(公告)日: 2018-06-01
发明(设计)人: 马嘉昌 申请(专利权)人: 马嘉昌
主分类号: B62B3/10 分类号: B62B3/10;B62B3/04;B62B5/00
代理公司: 郑州铭晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 41134 代理人: 张万利
地址: 452470 河南省郑*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 基板 支撑板 双轴电机 杆柱 转轴 坩埚 碳化硅坩埚 搬运装置 电机轴 防护栏 连接杆 滚轮 搬运 底板 基板顶端 滚轮带 扶手 移动
【权利要求书】:

1.一种碳化硅坩埚的搬运装置,包括基板(1)、滚轮(2)、支撑板(4)、防护栏(11)、转轴(5)和杆柱(6),其特征在于:所述基板(1)底端的左侧安装有双轴电机(3),所述双轴电机(3)的电机轴上固定有支撑板(4),所述支撑板(4)的另一端固定有转轴(5),所述转轴(5)的一端固定有杆柱(6),所述基板(1)底端的右侧四角均设有滚轮(2),所述基板(1)的顶端设有防护栏(11),所述基板(1)的右侧设有连接杆(14),且连接杆(14)的顶端设有扶手(12)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅坩埚的搬运装置,其特征在于:所述杆柱(6)的内侧固定有防滑层(10)。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅坩埚的搬运装置,其特征在于:所述杆柱(6)的底端设有弹力带(8),且弹力带(8)设有多组,所述弹力带(8)的底端设有扣片(7)。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅坩埚的搬运装置,其特征在于:所述杆柱(6)的两端均设有螺母槽(9),且螺母槽(9)内连接有螺栓(15),所述螺母槽(9)设有两组,所述螺栓(15)贯穿螺母槽(9)与另一组螺母槽(9)连接。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅坩埚的搬运装置,其特征在于:所述扶手(12)的表面设有开关(13),所述开关(12)的信号输出端与双轴电机(3)的信号输入端连接。

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