[发明专利]碳化硼研磨液回收循环再利用方法在审
| 申请号： | 201711470008.4 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108177088A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 蔡佳霖;郑东 | 申请（专利权）人： | 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/00 | 分类号： | B24B57/00 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨液 碳化硼 粗磨 回收 循环再利用 研磨机 加工 精磨 化学机械研磨工艺 蓝宝石 回收利用 加工参数 晶片加工 上表层 悬浮度 悬浮剂 粘稠度 排放 称重 出站 适配 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳化硼研磨液回收循环再利用方法，其特征在于：包括如下步骤：
步骤一：收集精磨加工排放后的碳化硼研磨液；
步骤二：倒掉步骤一所述的碳化硼研磨液上表层的水溶液，对剩余底层的碳化硼进行称重，加入RO水搅拌均匀；
步骤三：向步骤二所得的溶液加入粗磨悬浮剂后进行搅拌，得到研磨液；
步骤四：将步骤三所得研磨液投入研磨机使用，研磨机设定相应的粗磨加工流量值、压力值和转速值。
2.根据权利要求1所述的碳化硼研磨液回收循环再利用方法，其特征在于：步骤二中碳化硼与RO水的比例为1:1.5-1:2.5。
3.根据权利要求1所述的碳化硼研磨液回收循环再利用方法，其特征在于：步骤三中碳化硼与粗磨悬浮剂的重量比为1:0.12-1:0.13。
4.根据权利要求1所述的碳化硼研磨液回收循环再利用方法，其特征在于：步骤二中搅拌时间为2小时。
5.根据权利要求1所述的碳化硼研磨液回收循环再利用方法，其特征在于：步骤三中搅拌时间为1小时。
6.根据权利要求1所述的碳化硼研磨液回收循环再利用方法，其特征在于：步骤四所述的加工参数为：加工流量值为420-450ml/min；加工压力值为90-95kg；加工转速值为19-21rpm。
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