[发明专利]横向模式电容式麦克风

权利要求书

1.一种电容式麦克风，包括被配置为在其间具有相对空间关系的第一电导体和第二电导体，

其中在所述第一电导体和所述第二电导体之间能够生成互电容；

其中可以通过声压沿着3D空间中的影响方向的范围对所述第一电导体和/或所述第二电导体进行影响，改变所述相对空间关系和所述互电容两者；

其中通过声压沿着所述影响方向的范围中的一个方向对所述第一电导体和/或所述第二电导体进行影响来最多地改变所述互电容，所述一个方向被定义为主方向；

其中所述第一电导体在垂直于所述主方向的概念平面上具有沿着所述主方向的第一凸起；

其中所述第二电导体在所述概念平面上具有沿着所述主方向的第二凸起；以及

其中所述第一凸起和所述第二凸起之间具有最短的距离Dmin，并且不管所述第一电导体和/或所述第二电导体是否沿着所述主方向受声压影响，Dmin保持大于零，

其中所述电容式麦克风还包括基板，所述基板能够被视为所述概念平面，并且其中所述第一电导体和所述第二电导体被并排地构造在所述基板上方，

其中所述第一电导体相对于所述基板是固定的，其中所述第二电导体包括相对于所述基板是可移动的薄膜，并且其中所述主方向垂直于所述薄膜平面，

其中所述电容式麦克风还包括空气流动限制器，所述空气流动限制器限制流入/流出所述薄膜与所述基板之间的间隙的空气的流动速率，并且所述空气流动限制器包括进入凹槽的插入件。

2.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其中所述第一电导体和所述第二电导体彼此独立地由多晶硅、金、银、镍、铝、铜、铬、钛、钨或铂制成。

3.根据权利要求2所述的电容式麦克风，所述电容式麦克风是MEMS麦克风。

4.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其中所述可移动的薄膜经由三个或更多个悬架诸如四个悬架被附接到所述基板。

5.根据权利要求4所述的电容式麦克风，其中所述悬架包括折叠和对称的悬臂。

6.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其中所述第一电导体包括第一组梳齿，其中所述可移动的薄膜包括围绕薄膜的周边区域的第二组梳齿，并且其中这两组梳齿彼此交错。

7.根据权利要求6所述的电容式麦克风，其中所述第二组梳齿相对于所述第一组梳齿是横向可移动的，并且来自位于所述薄膜和所述基板之间的间隙内的空气的阻力被降低。

8.根据权利要求6所述的电容式麦克风，其中所述第一组梳齿和所述第二组梳齿具有相同的形状和尺寸。

9.根据权利要求8所述的电容式麦克风，其中每个梳齿具有沿着所述主方向测量的同一宽度，并且所述第一组梳齿和所述第二组梳齿具有沿着所述主方向的位置偏移。

10.根据权利要求9所述的电容式麦克风，其中沿着所述主方向的所述位置偏移是所述宽度的三分之一。

11.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其中所述可移动的薄膜是正方形形状的。

12.根据权利要求11所述的电容式麦克风，所述电容式麦克风包括一个或更多个所述可移动的薄膜。

13.根据权利要求12所述的电容式麦克风，所述电容式麦克风包括以2×2阵列配置布置的四个可移动的薄膜。

14.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其中所述空气流动限制器减小用于空气流入/流出所述薄膜与所述基板之间的间隙的空气通道的大小。

15.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其中所述空气流动限制器增加用于空气流入/流出所述薄膜与所述基板之间的间隙的空气通道的长度。

16.根据权利要求1所述的电容式麦克风，还包括至少两个空气流动限制器，所述至少两个空气流动限制器限制流入/流出所述薄膜与所述基板之间的间隙的空气的流动速率。