[发明专利]量测结构有效
| 申请号： | 201711472179.0 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109950229B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 赖佳助;方柏翔;林河全 | 申请（专利权）人： | 矽品精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 中国台湾台中*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 结构 | ||
1.一种量测结构，其特征在于，该量测结构用以量测介电层的介电常数，且该量测结构包括：
介电层；
第一导线，其设于该介电层上且具有第一端部；
第二导线，其设于该介电层上且具有对应该第一端部的第二端部；
第一环体，其设于该介电层上并间隔地位于该第一端部与该第二端部之间，且电性耦合该第一端部与该第二端部；以及
第二环体，其设于该介电层上并间隔地环绕于第一环体外，且间隔地包围该第一端部与该第二端部，并与该第一端部及该第二端部电性耦合。
2.根据权利要求1所述的量测结构，其特征在于，该第一端部的形状对应该第一环体或第二环体的侧面轮廓。
3.根据权利要求1所述的量测结构，其特征在于，该第二端部的形状对应该第一环体或第二环体的侧面轮廓。
4.根据权利要求1所述的量测结构，其特征在于，该第一端部与第二端部构成一框体，使该第一环体位于该框体中。
5.根据权利要求4所述的量测结构，其特征在于，该框体的形状对应该第一环体的侧面轮廓。
6.根据权利要求1所述的量测结构，其特征在于，该第一环体与该第一端部之间及该第二端部之间分别形成间隙，且令该第一环体对应该间隙的侧面范围定义该第一环体所产生的电性耦合的耦合量。
7.根据权利要求1所述的量测结构，其特征在于，该第二环体与该第一端部之间及该第二端部之间分别形成间隙，且令该第二环体对应该间隙的侧面范围定义该第二环体所产生的电性耦合的耦合量。
8.根据权利要求1所述的量测结构，其特征在于，该量测结构用以量测该介电层的介电常数，且该介电常数对应讯号的传输频率。
9.根据权利要求8所述的量测结构，其特征在于，该第一环体的周长对应该传输频率的波长的长度。
10.根据权利要求8所述的量测结构，其特征在于，该第二环体的周长对应该传输频率的波长的长度。
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