[发明专利]一种晶圆自动扩晶机

权利要求书

1.一种晶圆自动扩晶机，包括压环气缸（1）、气缸固定支架（2）、压环气缸伸缩杆（3）、压环盘（4）、蓝膜固定架（7）、扩晶圆盘（8）、扩晶气缸伸缩杆（10）、扩晶气缸（11）和控制盒（12），其特征在于，所述压环气缸（1）固定在气缸固定支架（2）上，且压环气缸伸缩端（3）穿过气缸固定支架（2）与压环盘（4）固定，所述气缸固定支架（2）放置在控制盒（12）上，所述控制盒（12）内安装有扩晶气缸（11），所述扩晶气缸伸缩杆（10）穿出控制盒（12）的上盖与扩晶盘（8）固定，所述控制盒（12）上固定有蓝膜固定架（7），所述扩晶盘（8）位于蓝膜固定架（7）中心位置。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动扩晶机，其特征在于：控制盒（12）的前面板上设有扩晶盘下降按钮（15）、扩晶盘上升按钮（14）、压环盘下降按钮（13）、温控仪（16）、加热开关（17）、电源开关（18）、保险丝座（19），所述控制盒（12）内设有中间继电器（23）、两位五通单电控电磁阀（24）、三位五通中封式双电控电磁阀（22）和固态继电器（25）；

所述加热开关（17）与温控器（16）的电源输入端连接，所述温控器（16）的输出端与固态继电器（25）连接，所述固态继电器（25）的输出端与扩晶盘（8）内的加热管电连接；所述电源开关（18）的输入端连接有保险丝座（19），输出端分别与加热开关（17）、单电控电磁阀（24）、双电控电磁阀（22）和中间继电器（23）电连接；用来控制压环气缸（1）的上下动作的单电控电磁阀（24）与压环盘下降按钮（13）电连接，用来控制扩晶气缸（11）的上下动作的双电控电磁阀（22）分为双电控电磁阀右线圈（22a）和双电控电磁阀左线圈（22b），所述双电控电磁阀右线圈（22a）与扩晶盘下降按钮（15）电连接，所述双电控电磁阀左线圈（22b）通过中间继电器常闭触点（23a）与扩晶盘上升按钮（14）电连接，所述中间继电器（23）与磁位置感应器（21）电连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆自动扩晶机，其特征在于：所述磁位置感应器21装在扩晶气缸11上。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆自动扩晶机，其特征在于：在控制盒（12）上，所述气缸固定支架（2）的高度高于蓝膜固定架（7）的高度。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆自动扩晶机，其特征在于：所述蓝膜固定架（7）中心为空心圆盘，露出扩晶盘（8），一侧装有可旋转的盖板（9），另一侧装有用于固定盖板（9）的卡销（6）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆自动扩晶机，其特征在于：所述扩晶盘（8）圆周边缘设有小直径扩晶环（26），所述压环盘（4）圆周边缘设有大直径扩晶环（27），所述小直径扩晶环（26）能够嵌入大直径扩晶环（27）的内壁。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆自动扩晶机，其特征在于：所述蓝膜固定架（7）中心的空心圆盘边缘装有圆形胶垫（20），所述圆形胶垫（20）的直径大于扩晶盘（8）的直径。