[发明专利]光学图像稳定系统、成像装置及电子装置

说明书

本发明公开了一种光学图像稳定系统，其包括微机电系统及图像传感器。微机电系统包括固定电极、与所述固定电极配合的活动电极及固定连接所述固定电极及所述活动电极的可形变连接件。所述图像传感器与所述活动电极固定连接。所述固定电极及所述活动电极用于在驱动电压的作用下产生静电力，所述连接件用于在所述静电力的作用下沿所述活动电极移动的方向形变以允许所述活动电极移动从而带动所述图像传感器移动以补偿抖动。由于所述微机电系统采用半导体制造技术制造，尺寸小，因此有利于所述光学图像稳定系统的小型化。本发明还提供一种成像装置及电子装置。

技术领域

本发明涉及光学图像稳定技术，特别涉及一种光学图像稳定系统、成像装置及电子装置。

背景技术

现有的光学图像稳定系统采用音圈马达作为致动器，体积大，不利于采用光学图像稳定系统的成像装置及电子装置的小型化。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明需要提供一种光学图像稳定系统、成像装置及电子装置。

本发明实施方式的光学图像稳定系统，包括：

微机电系统，包括：

固定电极；

与所述固定电极配合的活动电极；及

固定连接所述固定电极及所述活动电极的可形变连接件；及

与所述活动电极固定连接的图像传感器；

所述固定电极及所述活动电极用于在驱动电压的作用下产生静电力，所述连接件用于在所述静电力的作用下沿所述活动电极移动的方向形变以允许所述活动电极移动从而带动所述图像传感器移动以补偿抖动。

在某些实施方式中，所述微机电系统的尺寸小于或等于88.5mm*8.5mm。

在某些实施方式中，所述微机电系统的功耗小于10mW。

在某些实施方式中，所述微机电系统的机械频率为80-120Hz。

在某些实施方式中，所述微机电系统包括多对所述固定电极及所述活动电极，每对所述固定电极及所述活动电极用于带动所述图像传感器在同样平面内沿不同方向移动。

在某些实施方式中，所述连接件包括可形变线材及与所述可形变线材两端连接的连接片。

在某些实施方式中，所述可形变线材为硅线。

在某些实施方式中，所述可形变线材具有矩形横截面，宽度为10-30um，厚度为1-3um，而长度为500-800um；

所述可形变线材的宽度方向垂直于所述活动电极的移动方向。

在某些实施方式中，在所述静电力小于预定阈值时，所述可形变线材在所述静电力的作用下沿所述活动电极的移动方向的形变量与所述静电力成正比。

在某些实施方式中，在所述静电力小于所述预定阈值时，所述形变量小于或等于150um。

在某些实施方式中，所述固定电极的上表面形成有多个第一焊垫，所述活动电极的上表面形成有多个第二焊垫；

所述连接件包括多个，并分别通过所述连接片与所述第一焊垫及所述第二焊垫固定连接从而固定连接所述固定电极及所述活动电极。

在某些实施方式中，所述光学图像稳定系统还包括有电路板，所述固定电极设置在所述电路板上，

所述电路板的上表面形成有多个第三焊垫；

所述固定电极的上表面还形成有多个第四焊垫；

所述多个第三焊垫通过第一线材与所述多个第四焊垫连接；