[发明专利]一种狭缝式OLED蒸镀线源

说明书

本发明涉及一种狭缝式OLED蒸镀线源，其包括：线源主体；所述线源主体上端在垂直于扫描方向上设有一条或者两条狭缝形状的喷嘴。本发明的狭缝式OLED蒸镀线源因为只有一条或两条狭缝喷嘴，因此它垂直于扫描方向的各点是同性的，所以几乎不存在所谓垂直扫描方向的蒸镀角，只要在平行于扫描方向用限制板对蒸镀角加以限制，就可以非常有效的控制阴影效应。本发明的狭缝式OLED蒸镀线源解决了传统线源存在的蒸镀角不可控问题，非常有效的控制了阴影效应，适合于蒸镀制备高解析度的OLED屏幕，尤其是WQHD以上的。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种狭缝式OLED蒸镀线源。

背景技术

现有的量产蒸镀设备的线源多为“一字型”，顾名思义，一字型线源即一种外形近似汉字“一”的线性蒸发源。一字型线源也可以近似理解为一个长方体，长方体内部添加有机材料，顶端有一排水平间隔排布的喷嘴(Nozzle)，当长方体侧壁被加热时，内部有机材料即气化而从顶端喷嘴处喷出，并最终在基板上沉积成膜。

虽然一字型线源目前应用很广泛，传统一字型线源如图1所示，由于自身结构限制，存在一些缺点。其中，阴影效应问题尤为致命。传统一字型线源的有机材是通过线源主体2顶端的一排水平间隔排布的喷嘴1喷出，一排水平喷嘴1相当于一连串点源直线拼接，它的扫描方向(喷嘴排列垂直方向)的材料出射角(即蒸镀角)可以通过加设限制板的方法来加以控制。但是垂直于扫描的方向(喷嘴排列方向)的蒸镀角是无法控制的。总之传统一字线源的蒸镀角是不好控制的，这就使得它在生产OLED屏幕时阴影效应较为严重。严重的阴影效应，会导致高解析度屏幕的蒸镀制程量率很低，甚至是没有良率。

发明内容

本发明要解决现有技术中的技术问题，提供一种狭缝式OLED蒸镀线源。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案具体如下：

一种狭缝式OLED蒸镀线源，包括：线源主体；

所述线源主体上端在垂直于扫描方向上设有一条或者两条狭缝形状的喷嘴。

在上述技术方案中，所述喷嘴的形状为长方形狭缝，长宽比的范围为10：1～1000：1。

在上述技术方案中，所述喷嘴的狭缝形状从两端到中间位置的宽度逐渐减小，两端的宽度是中间位置宽度的1.5～5倍；

所述喷嘴的长度与两端位置的宽度只比的范围为10：1～1000：1。

在上述技术方案中，所述喷嘴的形状为两个长方形狭缝，两个长方形在相距较远的一端分别设有一个与长方形相连通的圆孔；

所述长方形的长宽比的范围为100：1～10000：1；

所述圆孔的直径是所述长方形的宽的2～20倍。

在上述技术方案中，所述喷嘴的形状为两个“V”字形狭缝，狭缝的尖端相对设置；

“V”字形狭缝的最宽处的宽度与“V”字形狭缝的长度之比为1：10～1：1000。

本发明具有以下的有益效果：

本发明的狭缝式OLED蒸镀线源因为只有一条或两条狭缝喷嘴，因此它垂直于扫描方向的各点是同性的，所以几乎不存在所谓垂直扫描方向的蒸镀角，只要在平行于扫描方向用限制板对蒸镀角加以限制，就可以非常有效的控制阴影效应。本发明这种狭缝式线源解决了传统线源存在的蒸镀角不可控问题，非常有效的控制了阴影效应，非常适合蒸镀制备高解析度的OLED屏幕，尤其是WQHD以上的。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

图1为现有技术中的OLED蒸镀线源的结构示意图。