[发明专利]贴合设备及其对位方法

权利要求书

1.一种贴合设备，用于将第一基板及第二基板贴合于一起，其特征在于，所述贴合设备包括：

第一承载台，用于承载所述第一基板，所述第一承载台上设置收容孔及第一标示，所述收容孔穿设于所述第一标示，所述第一基板设第一基板标示；

第一驱动装置，与所述第一承载台连接，用于驱动所述第一承载台运动；

第二承载台，用于承载所述第二基板，所述第二承载台对应所述第一标示设第二标示，所述第二基板对应所述第一基板标示设第二基板标示；

第二驱动装置，与所述第二承载台连接，用于驱动所述第二承载台运动；

激光发射装置，收容于所述收容孔；

激光检测装置，设于所述第二标示上而对应所述激光发射装置设置；及

控制器，用于控制所述第一驱动装置、所述第二驱动装置、所述激光发射装置及所述激光检测装置，

所述贴合设备还包括侦测装置，用于侦测所述第一标示的位置、所述第一基板标示的位置、所述第二标示的位置及所述第二基板标示的位置，所述侦测装置依据所述第一标示的位置、所述第一基板标示的位置、所述第二标示的位置及所述第二基板标示的位置计算得出位置偏差量，

所述控制器还用于根据位置偏差量控制翻转所述第一承载台使所述激光发射装置的发射面朝向所述第二承载台、移动所述第一承载台与所述第二承载台中的至少一个调节所述第一承载台与所述第二承载台的相对位置，以及控制翻转后的激光发射装置发射激光，

当所述激光发射装置发射的激光照射在所述激光检测装置上时所述激光检测装置能够生成检测值，所述控制器依据所述检测值控制调节所述第一承载台与所述第二承载台的相对位置。

2.如权利要求1所述的贴合设备，其特征在于，所述激光检测装置包括多个检测单元，每个检测单元包括光敏材料，当所述激光发射装置发射的激光照射在所述检测单元的光敏材料上时所述激光检测装置能够生成一检测值，每个检测单元对应一个补偿量，所述控制器用于依据所述补偿量，控制调节所述第一承载台相对所述第二承载台的移动。

3.如权利要求1所述的贴合设备，其特征在于，所述控制器预设一预设范围，当所述检测值在所述预设范围时，所述控制器确定所述第一基板与所述第二基板实现对位。

4.一种应用如权利要求1至3任意一项所述的贴合设备的对位方法，其包括以下步骤：

侦测所述第一基板与所述第二基板的位置偏差量；

依据所述位置偏差量，控制调节所述第一承载台及所述第二承载台的相对位置，包括：控制翻转所述第一承载台，所述第一基板朝向所述第二基板设置，设于所述第一承载台的激光发射装置的发射面朝向所述第二承载台；依据所述位置偏差量，沿平行所述第一基板的方向，控制移动所述第一承载台及所述第二承载台中的至少其中之一，所述第一基板相对所述第二基板移动所述位置偏差量；及沿垂直所述第一基板的方向，控制移动所述第一承载台及所述第二承载台中的至少其中之一，直至所述第一基板与所述第二基板之间的距离为预设距离；

控制翻转后的第一承载台上的激光发射装置发射激光，所述第一承载台承载第一基板，所述激光发射装置发射的激光照射在设于所述贴合设备的第二承载台上的激光检测装置，所述激光检测装置生成检测值；及

依据所述检测值，控制调节所述第一承载台与所述第二承载台的相对位置，实现所述第一基板与所述第二基板对位。