[发明专利]喷墨打印膜层干燥加热装置及方法有效
申请号: | 201711479120.4 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN108155303B | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 邓联谱 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;武岑飞 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷墨 打印 干燥 加热 装置 方法 | ||
1.一种喷墨打印膜层干燥加热装置,其特征在于,包括可上下翻转的旋转板、驱动旋转板旋转的转动机构、间隔设于所述旋转板下方的加热板,所述旋转板固定待干燥的喷墨打印基板,所述喷墨打印基板的一表面有喷墨打印膜层,所述旋转板转动带动所述喷墨打印基板向下旋转,喷墨打印基板旋转至所述喷墨打印膜层呈朝下,使所述喷墨打印膜层与所述加热板正对设置,所述加热板对朝向所述加热板的喷墨打印膜层进行加热干燥。
2.如权利要求1所述的喷墨打印膜层干燥加热装置,其特征在于,所述旋转板夹持固定所述喷墨打印基板。
3.如权利要求1所述的喷墨打印膜层干燥加热装置,其特征在于,所述旋转板通过真空吸附连接所述喷墨打印基板。
4.如权利要求3所述的喷墨打印膜层干燥加热装置,其特征在于,所述旋转板间隔设置有多个吸附孔,吸附所述喷墨打印基板的边沿。
5.如权利要求1所述的喷墨打印膜层干燥加热装置,其特征在于,所述加热板的面积不小于所述喷墨打印膜层的面积,所述旋转板带动所述喷墨打印基板旋转至所述喷墨打印膜层呈水平朝下时,所述喷墨打印膜层与所述加热板正对设置。
6.如权利要求5所述的喷墨打印膜层干燥加热装置,其特征在于,所述加热板采用红外或微波加热,和/或,所述加热板为碳纤维材质。
7.如权利要求1-6任一所述的喷墨打印膜层干燥加热装置,其特征在于,该喷墨打印膜层干燥加热装置还包括壳体,所述旋转板、喷墨打印基板、及加热板均置于所述壳体内。
8.如权利要求7所述的喷墨打印膜层干燥加热装置,其特征在于,该喷墨打印膜层干燥加热装置还包括进气管和出气管,所述进气管和排气管分别与所述壳体内部连通。
9.如权利要求8所述的喷墨打印膜层干燥加热装置,其特征在于,该喷墨打印膜层干燥加热装置还包括制程气体存储装置,所述制程气体存储装置连通所述进气管。
10.一种喷墨打印膜层干燥加热方法,其特征在于,包括以下步骤;
固定具有喷墨打印膜层的喷墨打印基板于旋转板;
驱动旋转板旋转,带动所述喷墨打印基板旋转至所述喷墨打印膜层呈水平朝下;
启动间隔设于所述旋转板下方的加热板,对喷墨打印膜层进行加热干燥。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择