[发明专利]一种非晶合金的镀膜设备及蒸镀着色方法

权利要求书

1.一种非晶合金的镀膜设备，其特征在于，包括：

反应炉；

挂具，所述挂具固定在所述反应炉内；

保护气体装置，通过保护气体管路与所述反应炉相连；

机械泵，通过第一抽气管路与所述反应炉相连，所述第一抽气管路上设置有粗抽阀；

分子泵，通过第二抽气管路与所述反应炉相连，所述第二抽气管路上设置有高抽阀；

电弧靶，所述电弧靶的电极位于所述反应炉内，且在所述反应炉内设置有靶材；

控制箱，与机械泵、粗抽阀、分子泵、高抽阀、电弧靶和靶材相连。

2.如权利要求1所述的非晶合金的镀膜设备，其特征在于，在所述第一抽气管路上且在粗抽阀的两端设置有高真空归和低真空归，高真空归位于粗抽阀和反应炉之间。

3.如权利要求1所述的非晶合金的镀膜设备，其特征在于，在所述反应炉中设置有一圈轨道，所述轨道下方设置有若干挂具，所述挂具能够围绕轨道的轴心匀速旋转。

4.如权利要求1所述的非晶合金的镀膜设备，其特征在于，所述靶材底部设置有自转装置。

5.如权利要求1所述的非晶合金的镀膜设备，其特征在于，所述反应炉侧壁设置有玻璃视窗。

6.一种非晶合金的镀膜方法，其特征在于，包括如下步骤：

将待蒸镀的非晶合金产品悬挂在反应炉内；

抽取反应炉内的气体，使反应炉内气压至预设值；

通入惰性保护气体至反应炉内；

启动电弧靶，电弧靶激发出的离子在非晶合金产品上形成打底膜层；

关闭电弧靶并启动靶材，激发出的上色膜层材料继续在非晶合金产品表面形成一层着色层；

关闭靶材，注入空气至反应炉中，取出反应炉内的非晶合金产品；

按照比例抽取样品测试。

7.如权利要求6所述的非晶合金的镀膜方法，其特征在于，所述反应炉内设置有一圈轨道，所述轨道下方悬挂有若干挂具；

靶材进行着色的过程中，所述靶材能够进行自转，且

在电弧靶进行镀膜以及靶材进行着色的过程中，悬挂在挂具上的非晶合金产品能够围绕轨道匀速滑动。

8.如权利要求6所述的非晶合金的镀膜方法，其特征在于，抽取反应炉内的气体的步骤包括：

采用机械泵初步抽取反应炉的气体，之后再采用分子泵继续抽取反应炉的气体直至反应炉内气压到预设值。