[发明专利]束流诊断系统

权利要求书

1.一种电子加速器的束流诊断系统，包括：

真空管，适于所述电子加速器出射的电子束流在其中传输；

流强测量装置，设置于所述真空管上，适于以非阻断的方式测量所述电子束流的流强；

束斑测量装置，设置于所述真空管上，适于测量所述电子束流的横向尺寸；以及

能谱测量装置，设置于所述真空管的末端，适于测量所述电子束流的能谱。

2.根据权利要求1所述的束流诊断系统，其特征在于，所述流强测量装置包括壁电流检测器或电流变压器。

3.根据权利要求2所述的束流诊断系统，其特征在于，所述电流变压器包括快速电流变压器、谐振式电流变压器、积分电流变压器或直流流强变压器。

4.根据权利要求2所述的束流诊断系统，其特征在于，所述电流变压器套设于所述真空管上。

5.根据权利要求1所述的束流诊断系统，其特征在于，所述束斑测量装置包括影像获取模块和荧光屏，所述荧光屏设置于所述真空管内，并且适于在所述电子束流轰击的区域发出荧光，所述影像获取模块设置于所述真空管外，并且适于透过所述真空管获取所述荧光。

6.根据权利要求5所述的束流诊断系统，其特征在于，所述真空管在其轴线的一侧具有一向外凸起的容纳空间，用以容纳所述荧光屏。

7.根据权利要求6所述的束流诊断系统，其特征在于，所述束斑测量装置还包括驱动模块，适于驱动所述荧光屏在所述真空管的轴线和所述容纳空间之间移动。

8.根据权利要求5所述的束流诊断系统，其特征在于，所述真空管在其轴线的另一侧具有一透明窗，所述影像获取模块透过所述透明窗获取所述荧光。

9.根据权利要求1所述的束流诊断系统，其特征在于，所述能谱测量装置采用磁偏转法或射程法来测量所述电子束流的能谱。

10.根据权利要求9所述的束流诊断系统，其特征在于，当所述能谱测量装置采用所述磁偏转法来测量所述电子束流的能谱时，所述能谱测量装置包括偏转磁场提供模块和探测器，所述偏转磁场提供模块适于使穿过偏转磁场的所述电子束流发生偏转，所述探测器适于接受经偏转后的所述电子束流，以探测所述电子束流的能谱。