[发明专利]一种多级复合高真空干泵

权利要求书

1.一种多级复合高真空干泵，其特征在于，包括泵壳、内置电机、牵引级转子、牵引级定子、旋涡级转子、旋涡级定子和两个底座，其中，所述内置电机设于所述泵壳的一侧，所述牵引级转子为圆套筒，固定设于所述内置电机的主轴上，靠近所述内置电机设置，与之对应设置的所述牵引级定子为圆筒形，所述圆筒形上设有螺旋槽，所述旋涡级转子靠近所述牵引级转子通过轴套固定在电机主轴上，所述旋涡级定子对应所述旋涡级转子设置，所述旋涡级转子设有三级或多级，所述三级或多级旋涡级转子的叶片为T形、V形和C形中的三种组合，所述泵壳将所述内置电机和牵引级定子包裹，在所述泵壳的上端，在所述牵引级转子的前端设有进气口，从所述旋涡级转子末端设有排气口，所述两个底座分别设于一侧的所述泵壳的下端和另一侧的所述旋涡级定子的下端；

所述T形是指各叶片间的肋板与叶片形成T形结构；所述V形是指各叶片呈V字形，V形开口沿转子外圆切向方向，所述C形是指各叶片呈C字形，C形开口沿转子外圆切向方向；所述三级或多级旋涡级转子的叶片从前端至末端依次按照T形，V形，C形的次序安装。

2.如权利要求1所述的多级复合高真空干泵，其特征在于，所述牵引级转子与所述牵引级定子为分体式结构，所述牵引级转子包括牵引级内转子、牵引级中间转子以及牵引级外转子，所述牵引级定子包括牵引级内定子和牵引级外定子；其中，所述牵引级内转子固定于主轴上，所述牵引级中间转子和牵引级外转子与所述牵引级内转子过盈配合联接形成内、外套筒，所述牵引级内定子和牵引级外定子固定在泵壳上，并套装在所述内、外套筒内，所述牵引级内定子和牵引级外定子的内外表面均设有螺旋槽，在所述泵壳的内表面对应牵引级外定子部位设有螺旋槽。

3.如权利要求2所述的多级复合高真空干泵，其特征在于，所述螺旋槽的纵截面为矩形，所述螺旋槽为阿基米德螺旋线或圆弧线。

4.如权利要求1所述的多级复合高真空干泵，其特征在于，在所述泵壳上对应所述内置电机和/或牵引级定子的外侧，设有冷凝管。

5.如权利要求1所述的多级复合高真空干泵，其特征在于，在所述旋涡级定子的外侧设置有辅助排气阀。

6.如权利要求1所述的多级复合高真空干泵，其特征在于，在所述旋涡级定子的中间上方设置氮气吹扫阀。

7.如权利要求1所述的多级复合高真空干泵，其特征在于，在所述主轴上，所述牵引级转子的前端和旋涡级转子的末端均设有复合式轴封，相对应地，在所述复合式轴封的外侧设有角接触球轴承。

8.如权利要求1-7中任一项所述的多级复合高真空干泵，其特征在于，所述旋涡级定子的外侧设有肋板。