[发明专利]蒸镀方法及装置

说明书

本发明公开一种蒸镀方法及装置，其中该蒸镀方法包括以下步骤：在蒸镀腔内设置蒸镀源，蒸镀源上设置有蒸镀材料，将待蒸镀的基板放入蒸镀腔，基板与蒸镀源间隔，在蒸镀材料挥发路径垂直的方向上加装电场或磁场。本发明的蒸镀方法及装置可使形成的蒸镀膜层的纯度和均匀性更高，增强通过该蒸镀膜层制作的器件的寿命和效率。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀方法及装置。

背景技术

目前有机发光二极管(OLED)蒸镀工艺中，主要采用加热源对蒸镀材料进行加热，从而使蒸镀材料蒸发并沉积形成相应的蒸镀膜层，但是由于目前加热源的控制精度有限，导致不可避免的会产生高温区域，对于部分蒸镀材料而言，其蒸发温度和裂解温度相隔较近，就不可避免的会导致部分材料的裂解，并且在蒸镀过程中，仍不可避免的会有颗粒异物附着，影响蒸镀膜层的纯度和均匀性，对通过该蒸镀膜层制作的器件性能和寿命造成影响。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种蒸镀方法，旨在使形成的蒸镀膜层的纯度和均匀性更高，增强通过该蒸镀膜层制作的器件的寿命和效率。

为实现上述目的，本发明提出一种蒸镀方法，该蒸镀方法包括以下步骤：

在蒸镀腔内设置蒸镀源，蒸镀源上设置有蒸镀材料，

将待蒸镀的基板放入蒸镀腔，基板与蒸镀源间隔，

在蒸镀材料挥发路径垂直的方向上加装电场或磁场。

优选地，所述电场的电压为12V至36V。

优选地，所述磁场强度为500高斯至2000高斯。

本发明还提出一种蒸镀装置，应用于上述所述的蒸镀方法，该蒸镀装置包括蒸镀腔、设于所述蒸镀腔内的蒸镀源和离子吸附装置，所述蒸镀源对蒸镀材料加热蒸发，以在基板上形成蒸镀膜层，所述基板和所述蒸镀源分别间隔设于所述蒸镀腔内的前后两侧，以形成一蒸镀发射区域，所述离子吸附装置设于所述蒸镀腔内的上下侧面和/或左右侧面，以在蒸镀材料挥发路径垂直的方向形成第一磁场或第一电场。

优选地，所述离子吸附装置包括间隔设置的第一正极附着板和第一负极附着板，所述第一正极附着板和所述第一负极附着板分别相对设于所述蒸镀腔内的左右侧面，以在所述蒸镀发射区域内形成第一磁场或第一电场。

优选地，所述离子吸附装置还包括间隔设置的第二正极附着板和第二负极附着板，所述第二正极附着板和第二负极附着板分别相对设于所述蒸镀腔内的上下两侧面，以在所述蒸镀发射区域内形成第二磁场或第二电场。

优选地，所述第一正极附着板、所述第一负极附着板、所述第二正极附着板、及所述第二负极附着板均可拆卸连接于所述蒸镀腔内壁。

优选地，所述第一正极附着板、所述第一负极附着板、所述第二正极附着板、及所述第二负极附着板均与所述基板垂直。

优选地，所述第一正极附着板、所述第一负极附着板、所述第二正极附着板、及所述第二负极附着板均为磁性材质。

优选地，所述第一正极附着板和所述第一负极附着板相对的面为面积相同的平面，和/或，所述第二正极附着板和及所述第二负极附着板相对的面为面积相同的平面。

本发明技术方案通过在蒸镀腔内设置蒸镀源，蒸镀源上设置有蒸镀材料，将待蒸镀的基板放入蒸镀腔，基板与蒸镀源间隔，在蒸镀材料挥发路径垂直的方向上加装电场或磁场，以此使形成的蒸镀膜层的纯度和均匀性更高，增强通过该蒸镀膜层制作的器件的寿命和效率。

附图说明