[发明专利]一种汽车用雪崩二极管的制造方法

说明书

本发明公开了一种汽车用雪崩二极管的制造方法，包括如下步骤：步骤(1)装填与烧结、步骤(2)碱洗与清洗、步骤(3)烘干、步骤(4)打胶、步骤(5)胶高温固化、步骤(6)一次测试、步骤(7)灌封、步骤(8)灌封胶固化、步骤(9)二次测试、步骤(10)、将经二次测试判定合格的产品进行激光打标。本发明采用一次焊接成型工艺的雪崩二极管具备良好的高温特性、苛刻的热疲劳能力、高的反向浪涌能力，有效解决了现有汽车用雪崩二极管的制备方法不够合理，造成的雪崩二极管各方面的性能较差，同时采用碱洗工艺有效解决了环保污水后期处理工序繁琐以及费用成本较高的问题。

技术领域

本发明涉及一种汽车用雪崩二极管的制造方法。

背景技术

雪崩二极管是利用半导体结构中载流子的碰撞电离和渡越时间两种物理 效应而产生负阻的固体微波器件。

雪崩击穿是在电场作用下，载流子能量增大，不断与晶体原子相碰，使 共价键中的电子激发形成自由电子-空穴对。新产生的载流子又通过碰撞产生 自由电子-空穴对，这就是倍增效应。1生2，2生4，像雪崩一样增加载流子。

齐纳击穿完全不同，在高的反向电压下，PN结中存在强电场，它能够直 接破坏共价键将束缚电子分离来形成电子-空穴对，形成大的反向电流。齐纳 击穿需要的电场强度很大。只有在杂质浓度特别大的PN结才做得到。

现有的雪崩二极管的结构通常为两次焊接工艺，这样的结构存在着成本 较高的问题；同时因为制备工艺安排得不够合理，进而造成其各方面性能不 够合理。

发明内容

本发明的目的是提供一种汽车用雪崩二极管的制造方法，解决现有汽车用 雪崩二极管的制备方法不够合理，造成的雪崩二极管各方面的性能较差，同 时成本较高的问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种汽车用雪崩二极管的制 造方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤(1)装填与烧结：将铜引线、焊片、硅片、焊片、铜座自下而上依 次叠放在加工模具内，然后送入真空烧结炉内烧结成半成品；

步骤(2)碱洗与清洗：待烧结完成后，将半成品自加工模具内取出后依 次进行碱洗、一次热水清洗、弱酸清洗、二次热水清洗、超声波清洗、纯水 冲洗；

步骤(3)烘干：将清洗后的半成品送入烘箱内烘干；

步骤(4)打胶：将经过步骤(3)一次烘干后的半成品进行打胶处理，胶 选用聚醯亚胺；

步骤(5)胶高温固化：将打胶后的半成品送入烘箱内，待胶烘烤完全固 化后取出；

步骤(6)一次测试：测试二次烘干处理后的半成品的整体性能，合格的 半成品转入下一道工序，不合格的半成品转入不合格半成品区；

步骤(7)灌封处理：在经一次测试判定为合格的半成品上套上塑料圈， 然后灌注环氧树脂；

步骤(8)灌封胶固化：将灌封处理后的半成品送入烘箱内烘烤固化；

步骤(9)二次测试：在高温环境下，测试固化后的半成品的整体高温漏 电性能；并进行反向浪涌测试、热疲劳测试；将测试合格的半成品定义为成 品进入下一工序，不合格的半成品移至废品区；

步骤(10)、将经二次测试判定合格的产品进行激光打标。