[发明专利]电子束扫描控制系统及与其配套使用的电子束加速电源和电子束熔炼炉

权利要求书

1.一种电子束扫描控制系统，其特征在于，它包括：

用于产生相位相差90°、同频率的两路正弦波的正交振荡器(1)；

用于将正弦波变换为梯形波的两个梯形波变换模块(2)，两个梯形波变换模块(2)分别连接在正交振荡器(1)的输出端，以便通过两个梯形波变换模块(2)将两路正弦波变换为相互对称的两路梯形波；

满幅发生模块，所述满幅发生模块的两个输入端分别连接有一个满幅选择开关，所述满幅选择开关包括满幅公共接线端(31)、圆满幅扫描接线端(32)和方满幅扫描接线端(33)，所述满幅公共接线端(31)与满幅发生模块的输入端相连，所述圆满幅扫描接线端(32)与正交振荡器(1)的输出端相连，所述方满幅扫描接线端(33)与梯形波变换模块(2)的输出端相连；

两个功率放大器(4)，两个功率放大器(4)的输入端分别连接有一个扫描选择开关，所述扫描选择开关包括扫描公共接线端(51)、圆扫描接线端(52)、方扫描接线端(53)和满幅扫描接线端(54)，所述扫描公共接线端(51)与功率放大器(4)的输入端相连，所述圆扫描接线端(52)与正交振荡器(1)的输出端相连，所述方扫描接线端(53)与梯形波变换模块(2)的输出端相连，所述满幅扫描接线端(54)与满幅发生模块的输出端相连；

线圈组，所述线圈组包括水平线圈(61)和垂直线圈(62)，所述水平线圈(61)与一个功率放大器(4)的输出端相连，所述垂直线圈(62)与另一个功率放大器(4)的输出端相连，以便当扫描公共接线端(51)连接圆扫描接线端(52)时，所述线圈组产生的磁场驱动电子束进行圆扫描；当扫描公共接线端(51)连接方扫描接线端(53)时，所述线圈组产生的磁场驱动电子束进行方扫描；当扫描公共接线端(51)连接满幅扫描接线端(54)且所述满幅公共接线端(31)连接圆满幅扫描接线端(32)时，所述线圈组产生的磁场驱动电子束进行圆满幅扫描；当扫描公共接线端(51)连接满幅扫描接线端(54)且满幅公共接线端(31)连接方满幅扫描接线端(33)时，所述线圈组产生的磁场驱动电子束进行方满幅扫描。

2.根据权利要求1所述的电子束扫描控制系统，其特征在于：所述满幅发生模块包括三角波发生器(71)和两个可变增益放大器(72)，两个可变增益放大器(72)均和三角波发生器(71)相连，以便通过三角波发生器(71)控制两个可变增益放大器(72)的输出信号的幅值，进而实现满幅扫描，所述满幅公共接线端(31)与可变增益放大器(72)的输入端相连，所述满幅扫描接线端(54)与可变增益放大器(72)的输出端相连。

3.一种电子束加速电源，其特征在于，它与如权利要求1或2中所述的电子束扫描控制系统配套使用，它包括依次连接的三相可控硅调压器(8)、升压变压器(9)和三相全波整流器(10)，所述升压变压器(9)用于将三相可控硅调压器(8)的输出电压变换至所需电压，所述三相全波整流器(10)用于将三相电压整定为直流电压。

4.根据权利要求3所述的电子束加速电源，其特征在于：还包括反馈调节电路，所述反馈调节电路包括电流检测模块(111)和控制器(112)，所述电流检测模块(111)的输入端和三相可控硅调压器(8)的输出端相连，所述控制器(112)的输入端和电流检测模块(111)的输出端相连，所述控制器(112)的输出端和三相可控硅调压器(8)的输入端相连，以便电流检测模块(111)将三相可控硅调压器(8)的输出电流值反馈至控制器(112)，控制器(112)根据接收到的输出电流值对三相可控硅调压器(8)进行PID调节，进而稳定三相可控硅调压器(8)的输出。

5.一种电子束熔炼炉，其特征在于，它包括如权利要求1或2所述的电子束扫描控制系统和如权利要求3或4所述的电子束加速电源。