[发明专利]一种塑胶镀层PVD工艺及塑胶镀层结构在审
| 申请号： | 201711496895.2 | 申请日： | 2017-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN109989043A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 蒋贵霞;贾建国 | 申请（专利权）人： | 昆山英利悦电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/20;C23C14/16;C23C14/06;C23C28/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 塑胶基体 塑胶 镀层 沉积 夹具 磁控溅射 钛金属层 铬层 离子镀工艺 导电性 表面清洁 产品生产 镀层结构 钝化处理 附着力强 金属膜层 碳化铬层 铜金属层 性能要求 结合力 离子镀 纯铬 放入 缸液 活化 良率 镍层 清洁 | ||
【权利要求书】：
1.一种塑胶镀层PVD工艺，其特征在于，包括：
步骤一：对塑胶基体进行表面清洁处理，并将清洁完毕的塑胶基体装在夹具上；
步骤二:对夹具上的塑胶基体进行磁控溅射离子镀处理，使塑胶基体沉积一层钛金属层；
步骤三：进行磁控溅射离子镀工艺，使钛金属层上依次沉积一层铜金属层、镍层、铬层、碳化铬层；
步骤四：将经过步骤三处理后的塑胶基体进行活化或钝化处理；
步骤五：将经过步骤四处理后的塑胶基体放入纯铬缸液中，以获得铬层。
2.根据权利要求1所述的塑胶镀层PVD工艺，其特征在于，在步骤二中磁控溅射离子镀处理时间为200-300秒；
根据权利要求2所述的塑胶镀层PVD工艺，其特征在于，在步骤二中沉积的钛金属层膜层厚度约0.1-0.2um之间。
3.一种塑胶镀层结构，其特征在于：其包含塑胶基体、所述塑胶基体上覆盖有物理气相沉积金属膜层，物理气相沉积金属膜层上覆盖有铜层，铜层上覆盖有镍层，镍层上覆盖有铬层。
4.根据权利要求4所述的塑胶镀层结构，其特征在于：所述物理气相沉积金属膜层包括钛金属层与铜金属层，所述钛金属层覆盖在塑胶基体上，所述铜金属层覆盖在钛金属层上。
5.根据权利要求4或5所述的塑胶镀层结构，其特征在于：所述镍层设有多层。
6.根据权利要求4或5所述的塑胶镀层结构，其特征在于：所述铬层为纯铬。
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