[发明专利]一种自整流有机电存储器及其制备方法有效
申请号: | 201711498111.X | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN108198938B | 公开(公告)日: | 2019-10-01 |
发明(设计)人: | 刘举庆;卢航;黄维;陈营营 | 申请(专利权)人: | 南京工业大学 |
主分类号: | H01L51/05 | 分类号: | H01L51/05;H01L51/10;H01L51/40 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 万婧 |
地址: | 211816 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 有机半导体 存储器 有机电 自整流 载流子 有机电子器件 能级 循环稳定性 存储器件 存储特性 器件结构 信息存储 整流效应 开关比 电极 杂化 捕获 匹配 存储 陷阱 | ||
1.一种自整流有机电存储器,其特征在于:包括衬底,衬底之上依次为底电极、整流存储介质层、顶电极,所述的整流存储介质层是有机半导体1、纳米材料、有机半导体2的三明治结构层;
所述的衬底是硅片衬底,所述的顶电极是Al电极;
所述的底电极和顶电极均为条状阵列电极,宽度为0.1-1mm;
所述的底电极是还原氧化石墨烯阵列电极、ITO电极中的一种;
所述的纳米材料为碳点;
所述的有机半导体1为聚(3,4-已撑二氧噻吩):聚(对苯乙烯磺酸)(PEDOT:PSS)、有机半导体2为聚(2-甲氧基,5(2′—乙基己氧基)-1,4-苯撑乙烯撑)(MEH-PPV);所述的整流存储介质层中有机半导体1和2的厚度分别为20-40nm和20-60nm。
2.根据权利要求1所述的一种自整流有机电存储器,其特征在于:整流存储介质层的制备方法是在底电极上依次旋涂有机半导体1、纳米材料、有机半导体2,烘干。
3.根据权利要求1或2所述的一种自整流有机电存储器,其特征在于:所述的整流存储介质层中有机半导体1和2的厚度分别为30nm和30nm。
4.根据权利要求1至3任意一项所述的一种自整流有机电存储器的制备方法,其特征在于:
所述的包括以下步骤:
1)清洗衬底,N2吹干,用氧气等离子体清洗机在20-80W的功率下处理3-8min;
2)在步骤1)的衬底上制备条状阵列还原氧化石墨烯电极;
3)在步骤2)制备的还原氧化石墨烯电极上旋涂制备一层PEDOT:PSS薄膜,100-150℃下固化干燥20-30min;
4)在步骤3)制备的PEDOT:PSS薄膜上旋涂制备一层碳点,100-120℃下固化干燥20-30min;
5)在步骤4)制备的薄膜上旋涂制备一层MEH-PPV薄膜,在N2氛围中60-80℃下固化干燥30-50min;
6)在步骤5)制备的MEH-PPV薄膜上贴好掩模板,蒸镀一层100-200nm的条状阵列Al电极,得到交叉状结构的器件。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于:所述步骤1中清洗硅片的方法为:将硅片衬底分别在超纯水、乙醇、丙酮、异丙醇中超声清洗15-20min。
6.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于:所述步骤2中制备条状阵列还原氧化石墨烯电极的方法是:在衬底上旋涂氧化石墨烯溶液,得氧化石墨烯薄膜,然后在氩/氢混合气氛中1000-1200℃下还原0.5-3小时,得还原氧化石墨烯薄膜;在还原氧化石墨烯薄膜上覆盖条形图案的掩模版,蒸镀铝,得条状铝薄膜,然后用氧气等离子体清洗机在80-100W下处理5-10min,最后用稀盐酸刻蚀铝,去离子水冲洗,N2吹干,得条状还原氧化石墨烯电极;所述方法中旋涂法制备氧化石墨烯薄膜的条件是:旋涂速度为2000-3000rpm。
7.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于:所述步骤3中PEDOT:PSS溶液固含量为1.3-1.7%;旋涂法制备PEDOT:PSS薄膜的条件是:旋涂速度为3000-5000rpm。
8.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于:所述步骤4中的碳点由柠檬酸热解制备得到,碳点溶液的浓度为2-5mg/ml,溶剂为水,旋涂碳点的条件是:旋涂速度为2000-3000rpm。
9.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于:所述步骤5中MEH-PPV溶液的浓度为2-5mg/ml,旋涂法制备MEH-PPV薄膜的条件是:旋涂速度为2000-5000rpm。
10.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于:所述步骤6中Al电极的蒸镀条件为:真空度为10-5Torr,蒸镀速率为
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