[实用新型]载板及使用该载板的太阳能电池生产设备有效
申请号: | 201720003567.3 | 申请日: | 2017-01-03 |
公开(公告)号: | CN206301768U | 公开(公告)日: | 2017-07-04 |
发明(设计)人: | 闫路;朱海剑;庄正军;上官泉元 | 申请(专利权)人: | 江西比太科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 曹桓 |
地址: | 330096 江西省南昌市*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 太阳能电池 生产 设备 | ||
1.一种载板,其特征在于:包括板体,所述板体的上板面设置有两个陪片放置区和多个按行列排布的硅片放置区;所述硅片放置区设置有通气凹槽;相邻两个所述硅片放置区的边缘之间设置有硅片定位凸起,用于将所述硅片限定于所述硅片放置区中;两个所述陪片放置区分别位于所述板体的两个短边侧;所述陪片放置区的边缘与所述硅片放置区的边缘之间设置有所述硅片定位凸起。
2.根据权利要求1所述的载板,其特征在于:所述通气凹槽包括第一子槽和第二子槽,所述第一子槽和所述第二子槽交叉设置。
3.根据权利要求2所述的载板,其特征在于:所述第一子槽的长度方向与所述第二子槽的长度方向的夹角的角平分线与所述板体的短边相垂直。
4.根据权利要求2所述的载板,其特征在于:所述第一子槽的长度方向与所述第二子槽的长度方向相垂直。
5.根据权利要求3所述的载板,其特征在于:所述通气凹槽还包括第三子槽,所述第三子槽的长度方向与所述第一子槽的长度方向相平行。
6.根据权利要求2至5中任一项所述的载板,其特征在于:所述第一子槽的深度为0.5~1.5mm,所述第一子槽的槽宽为0.5~1.5mm。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的载板,其特征在于:所述硅片定位凸起的高度为0.1~1mm。
8.根据权利要求1至5中任一项所述的载板,其特征在于:所述板体的下板面设置有多个按行列排布的凹陷部,多个所述凹陷部与多个所述硅片放置区的位置一一对应。
9.根据权利要求1至5中任一项所述的载板,其特征在于:所述板体和所述硅片定位凸起的材质均为铝合金。
10.一种太阳能电池生产设备,其特征在于:包括载板传输装置和如权利要求1~9所述的载板,所述载板传输装置用于传输所述载板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造