[实用新型]紫外线固化装置中的基板传送机构和紫外固化装置

权利要求书

1.一种紫外线固化装置中的基板传送机构，其特征在于，包括：

首尾连接的传送轨道；

间隔设置于所述传送轨道上的多个托盘，每个所述托盘用于盛放待固化的基板，所述传送轨道用于循环传送多个所述托盘。

2.根据权利要求1所述的基板传送机构，其特征在于，所述传送轨道为矩形结构；所述传送轨道包括：

位于矩形结构的传送轨道的四个角位置处的第一传送单元，每个所述第一传送单元分别沿矩形结构的所述传送轨道的长度方向和宽度方向传送所述托盘；

连接相邻两个所述第一传送单元的第二传送单元，每个所述第二传送单元在相邻两个所述第一传送单元之间传送所述托盘。

3.根据权利要求2所述的基板传送机构，其特征在于，每个所述第一传送单元包括：

间隔设置的多个传送辊；

驱动每个所述传送辊转动的第一驱动装置；

位于任意相邻两个所述传送辊之间的间隙内的传送盘，每个所述传送盘可从对应的所述间隙穿出，且所述传送盘的传送方向和所述传送辊的传送方向垂直；

驱动每个所述传送盘旋转的第二驱动装置；

驱动每个所述传送盘升、降的第三驱动装置。

4.根据权利要求2所述的基板传送机构，其特征在于，每个所述第二传送单元包括：

间隔设置的多个传送辊；

驱动每个所述传送辊转动的第一驱动装置；

位于任意相邻两个所述传送辊之间的间隙内的传送盘，每个所述传送盘可从对应的所述间隙穿出，且所述传送盘的传送方向和所述传送辊的传送方向垂直；

驱动每个所述传送盘旋转的第二驱动装置；

驱动每个所述传送盘升、降的第三驱动装置。

5.根据权利要求3或4所述的基板传送机构，其特征在于，所述第一驱动装置为驱动电机，所述第一驱动装置与每个所述传送辊传动连接；和/或，

所述第二驱动装置为驱动电机，所述第二驱动装置与每个所述传送盘传动连接；和/或，

所述第三驱动装置为伸缩缸。

6.根据权利要求2所述的基板传送机构，其特征在于，每个所述第二传送单元包括：

间隔设置的多个传送辊；

驱动每个所述传送辊转动的第四驱动装置。

7.根据权利要求2所述的基板传送机构，其特征在于，每个所述第二传送单元包括：

间隔设置的多个传送盘；

驱动每个所述传送盘转动的第四驱动装置。

8.根据权利要求6或7所述的基板传送机构，其特征在于，所述第四驱动装置为驱动电机。

9.根据权利要求1所述的基板传送机构，其特征在于，还包括：机械手臂，所述机械手臂用于将所述待固化的基板放置于所述托盘和从所述托盘中取出并移出所述紫外固化装置。

10.一种紫外固化装置，包括：紫外固化灯，其特征在于，还包括位于所述紫外固化灯下方的如权利要求1～9任一项所述的基板传送机构。