[实用新型]一种设备端风机过滤单元

说明书

技术领域

本实用新型涉及空气净化装置技术领域，具体为一种设备端风机过滤单元。

背景技术

设备端风机过滤单元通常与高效过滤器配合使用，应用于半导体领域如DRAM、HAND、MPU，印象传感器，LED，IC等高端设备端，液晶面板，PDP，有机EL，医药、食品、精密机械、光学等生产设备端，高洁净局部环境，及研究实验室等洁净度苛刻的环境。现在半导体技术的飞速发展对制造环境工艺的要求更加严格，现在洁净技术必须具备高洁净度，高灵活性，低成本，低能耗的特性，传统的洁净技术已经很难完全满足这些需求。微环境洁净技术应运而生，洁净室受关注的重点开始逐步转移到制造设备上，微环境洁净技术飞速发展，由此设备端所用的空气净化装置逐渐增加，为此，我们提出一种设备端风机过滤单元。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种设备端风机过滤单元，以解决上述背景技术中提出的现有的半导体洁净技术洁净度较低，成本高，能耗高的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种设备端风机过滤单元，包括机组箱体，所述机组箱体的表面左右两侧均安装有把手，所述机组箱体的表面安装有控制盒和端子保护罩，所述机组箱体底部对称安装有过滤器自锁螺钉，所述机组箱体的顶部安装有化学过滤器，所述化学过滤器的底部安装有吸风面，且吸风面位于机组箱体的内腔顶部，所述吸风面的底部中央位置安装有风机，所述吸风面的底部左右两侧对称安装有加强筋，所述风机的左右两侧安装有导流板，且导流板的端部固定在机组箱体的内壁上，所述机组箱体的底部安装有设备机台的送风面，所述机组箱体的内腔底部安装有过滤器，所述过滤器的侧面的左右或前后面安装有安装支架，所述机组箱体的内腔左右两侧对称安装有分流板。

优选的，所述机组箱体的外壁四周均匀安装有安装耳，且安装耳上开有设备机台的安装孔。

优选的，所述过滤器与机组箱体为一体式自锁结构。

优选的，所述过滤器为玻纤过滤器或PTEE过滤器中的一种或两组种叠加组成。

优选的，所述风机为交流风机或无刷直流风机或离心风机或轴流风机，所述风机的驱动装置为AC马达或EC马达或DC马达。

优选的，所述控制盒为控制系统单台手动调速或单组手动群控或分组手动群控或触摸屏群控或PLC群控或电脑群控。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该实用新型提出的一种设备端风机过滤单元，通过结构的改进，该装置的布局可以自由变更，通过调节过滤装置的风速、型号和数量实现了净度的自由选择，过滤器上端的污染源不会流入洁净度受控的设备机台内部，低噪声，不需要安装吸音设备，可节约工程费，超薄特性，在安装高度空间受限的场所，可以使用该产品的超薄型尺寸设计，最大限度降低了安装高度，节省空间，节省材料，箱体重量轻，设备外形轻巧美观，易于安装在原有设备机台面上，该实用新型可应对小到大各种规模的洁净室生产设备，化学过滤器可以有效控制化学物质对半导体以及液晶制程的影响，将洁净度控制与气态污染控制有效结合，实现多样化的空气过滤净化效果。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型俯视图；

图3为本实用新型右视图。

图中：1机组箱体、2把手、3控制盒、4端子保护罩、5过滤器自锁螺钉、6化学过滤器、7吸风面、8风机、9加强筋、10导流板、11分流板、12安装支架、13过滤器、14送风面。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。