[实用新型]一种材料的生长测试一体化系统

权利要求书

1.先进材料的生长测试一体化系统，其特征是包括光源产生系统，真空传输系统，材料生长系统以及时间和自旋分辨的电子能谱测试系统；

所述光源产生系统包括极紫外超短脉冲激光系统，光学参量转换系统，极紫外超短脉冲激光转换系统，时间同步装置，泵浦光和探测光合束器；

所述时间和自旋分辨的电子能谱测试系统包括：合束输入窗口；真空测试腔；样品固定架；半球电子能谱分析仪，扫描电子显微镜；

所述材料生长系统包括：第一分子束外延生长系统MBE1；第二分子束外延生长系统MBE2；第一脉冲激光沉积系统PLD1；第二脉冲激光沉积系统PLD2；

真空传输系统包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空管道和超高真空样品室，通过超高真空管道，在生长腔室与能谱探测腔之间来回传递。

2.根据权利要求1所述的先进材料的生长测试一体化系统，其特征在于，所述超短脉冲激光系统包括依次连接的超短脉冲种子激光，极紫外超短脉冲激光放大器，脉冲激光压缩器；极紫外超短脉冲激光单色仪。

3.根据权利要求1所述的先进材料的生长测试一体化系统，其特征在于，所述极紫外超短脉冲激光产生器将高能脉冲激光聚焦至特定惰性气体产生极紫外脉冲激光，还包括激光聚焦器件，多维调整机构；所述极紫外超短脉冲激光转换系统包括极紫外超短脉冲激光产生器，极紫外超短脉冲激光单色仪；所述极紫外超短脉冲激光产生器，极紫外超短脉冲激光单色仪，泵浦光和探测光合束器及样品生长传输均位于真空系统中。

4.根据权利要求3所述的先进材料的生长测试一体化系统，其特征在于，所述极紫外超短脉冲激光单色仪包括分光光栅、滤波片或者多层镜，反射镜及其多维调整结构。

5.根据权利要求1所述的先进材料的生长测试一体化系统，其特征在于，所述合束输入窗口指泵浦光和探测光合束器，包括反射镜、聚焦镜和多维调整机构。

6.根据权利要求1所述的先进材料的生长测试一体化系统，其特征在于，所述材料的生长传输及测量均位于真空系统中。