[实用新型]基板吸附剥离装置

权利要求书

1.一种基板吸附剥离装置，其特征在于，包括：

上定盘；以及

下定盘，所述下定盘与所述上定盘相对设置，其中

所述上定盘包括可拆卸的多个吸附定盘和多个支撑定盘，所述吸附定盘和所述支撑定盘之间可自由安装组合。

2.根据权利要求1所述的基板吸附剥离装置，其特征在于，所述吸附定盘朝向所述下定盘一侧设置有吸附模块；所述支撑定盘朝向所述下定盘的一侧设置有支撑模块。

3.根据权利要求1所述的基板吸附剥离装置，其特征在于，所述吸附模块包括硅橡胶层和第一衬底，所述硅橡胶层设置于所述第一衬底上；所述支撑模块包括金属层和第二衬底，所述金属层设置于所述第二衬底上。

4.根据权利要求3所述的基板吸附剥离装置，其特征在于，所述硅橡胶层和所述金属层表面均为凹凸状结构。

5.根据权利要求3所述的基板吸附剥离装置，其特征在于，所述吸附定盘朝向所述下定盘的一侧设置有凹槽，所述吸附模块设置在所述凹槽内；所述支撑定盘朝向所述下定盘的一侧设置有凹槽，所述支撑模块设置在所述凹槽内。

6.根据权利要求3所述的基板吸附剥离装置，其特征在于，所述吸附定盘与所述吸附模块之间的固定方式包括螺接、粘接和卡接中的任一种；所述支撑定盘与所述支撑模块之间的固定方式包括螺接、粘接和卡接中的任一种。

7.根据权利要求3所述的基板吸附剥离装置，其特征在于，所述吸附定盘上并列设置有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔纵向贯通所述吸附定盘和所述吸附模块。

8.根据权利要求3所述的基板吸附剥离装置，其特征在于，所述支撑定盘上并列设置有第三通孔和第四通孔，所述第三通孔和所述第四通孔纵向贯通所述支撑定盘和所述支撑模块。

9.根据权利要求1所述的基板吸附剥离装置，其特征在于，所述吸附定盘和所述支撑定盘的尺寸和形状均一致。

10.根据权利要求1所述的基板吸附剥离装置，其特征在于，所述吸附定盘和所述支撑定盘的形状选自矩形、正方形、三角形以及六边形中的任一种。