[实用新型]光学模块

权利要求书

1.一种光学模块，其特征在于，所述光学模块包括：

第一透明衬底和第二透明衬底；

间隔件，所述间隔件位于所述第一透明衬底和所述第二透明衬底之间，所述间隔件保持所述第一透明衬底靠近所述第二透明衬底；

第一衍射光学元件DOE和第二衍射光学元件DOE，所述第一DOE和所述第二DOE位于所述第一透明衬底和所述第二透明衬底的相应的面上；

至少第一电容电极和第二电容电极，所述至少第一电容电极和所述第二电容电极分别设置在所述第一透明衬底和所述第二透明衬底上靠近所述第一DOE和所述第二DOE；以及

电路，所述电路被耦接以测量所述至少第一电容电极和所述第二电容电极之间的电容变化。

2.根据权利要求1所述的光学模块，其特征在于，所述光学模块还包括位于所述透明衬底的一个或多个外表面上的导电屏蔽涂层。

3.根据权利要求1所述的光学模块，其特征在于，所述第一电容电极和所述第二电容电极包括平面电极。

4.根据权利要求1所述的光学模块，其特征在于，所述第一电容电极和所述第二电容电极包括叉指式电极。

5.根据权利要求1所述的光学模块，其特征在于，所述光学模块还包括电导体，所述电导体包含导电环氧树脂，所述电导体沉积在所述透明衬底的一个或多个侧表面上并将所述电路耦接到所述第一电容电极和所述第二电容电极。

6.根据权利要求1所述的光学模块，其特征在于，所述光学模块还包括电导体，所述电导体沉积在穿过所述透明衬底的一个或多个通路内部并将所述电路耦接到所述第一电容电极和所述第二电容电极。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的光学模块，其特征在于，所述光学模块还包括位于对所述DOE中的变化不敏感的位置中的至少一个附加的参考电容电极对，其中所述电路被附加地耦接到所述参考电容电极并被配置为将在所述第一电容电极和所述第二电容电极之间测量的所述电容中测得的所述变化与从所述参考电容电极读取的参考电容值进行比较。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的光学模块，其特征在于，所述间隔件在所述第一透明衬底和所述第二透明衬底之间形成气密密封部。

9.根据权利要求1-6中任一项所述的光学模块，其特征在于，所述间隔件包含导电材料，所述间隔件连接到地电位。

10.根据权利要求1-6中任一项所述的光学模块，其特征在于，所述电极沉积在所述衬底的所述相应的面上，并且所述DOE形成在所述电极上方。

11.根据权利要求1-6中任一项所述的光学模块，其特征在于，所述电极沉积在所述DOE上方。