[实用新型]一种光罩搬运装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种搬运装置，特别是涉及一种用于搬运光罩的装置。

背景技术

光罩业内又称光掩模版、掩膜版(英文名称MASK或PHOTOMASK)，在制作IC或液晶面板生产领域中，阵列工序中的光刻工艺的曝光过程需要采用光罩对基板进行曝光，光罩一般存放在存储盒中，使用时，需要将光罩从存储盒中取出放置在掩膜板工作台，才能进行后续的曝光过程。光罩的搬运等作业中，由于光罩尺寸多样且清洁度要求高，作业人员需带上手套在无尘室中进行搬运作业。但是作业人员在用手搬运光罩时，一方面，手套内汗水导致手滑等现象使裸露的光罩本体造成磕碰损坏；另一方面，人员用手接触光罩时，造成光罩本体静电击伤，光罩造成破坏，提升不良率。

有鉴于此，有必要提供一种满足多尺寸光罩搬运的机械装置，解决上述问题。

实用新型内容

因此，本实用新型旨在于提出一种可以满足不同尺寸光罩搬运要求的光罩搬运装置。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种光罩搬运装置，其特征在于，包括固定支架、滑轨装置、至少2个锁紧装置，所述固定支架、滑轨装置固定连接于所述至少2个锁紧装置之间，所述固定支架和所述滑轨装置呈平行。

优选地，所述滑轨装置包括滑轨支架、第一拉紧锁止装置、第二拉紧锁止装置、第一锁紧抓钩、第二锁紧抓钩，所述滑轨支架为两端可伸缩的套式滑轨结构，所述第一拉紧锁止装置和所述第二拉紧锁止装置设置在所述滑轨支架的套式滑轨上，所述滑轨支架两末端为所述第一锁紧抓钩和第二锁紧抓钩。

优选地，所述锁紧装置包括锁紧支架、第三拉紧锁止装置、第三锁紧抓钩、第四锁紧抓钩、把手，所述锁紧支架靠近第四锁紧抓钩的一端为可伸缩的套式滑轨结构，所述第三拉紧锁止装置设置在所述锁紧支架一端的套式滑轨上，所述锁紧支架两端设置有所述第三锁紧抓钩和所述第四锁紧抓钩，所述把手设置在所述锁紧支架的两末端。

优选地，所述锁紧支架中间为折叶结构。

优选地，所述锁紧装置还包括金属架、弹簧，所述弹簧一端固定于所述折叶结构上方的所述金属架上，所述弹簧另一端固定于所述折叶结构下方的所述锁紧支架上。

优选地，所述把手外部设有橡胶圈。

优选地，所述第一锁紧抓钩、第二锁紧抓钩固定光罩的内侧设有橡胶垫。

优选地，所述第三锁紧抓钩、第四锁紧抓钩固定光罩的内侧设有橡胶垫。

优选地，所述橡胶垫上设有凹槽。

附图说明

图1是本实用新型优选实施例提供的光罩搬运装置的俯视图；

图2是本实用新型优选实施例提供的光罩搬运装置的滑轨装置；

图3是本实用新型优选实施例提供的光罩搬运装置的锁紧装置；

图4是本实用新型优选实施例提供的光罩搬运装置的侧视图下的折叶打开状态图；

图5是本实用新型优选实施例提供的光罩搬运装置的侧视图下的折叶闭合状态图。

1.固定支架、2.滑轨装置、20.滑轨支架、21.第一拉紧锁止装置、22.第二拉紧锁止装置、23.第一锁紧抓钩、24.第二锁紧抓钩、3.锁紧装置、30.锁紧支架 31.第三拉紧锁止装置、33.第三锁紧抓钩、34.第四锁紧抓钩、35.金属架、36.弹簧、37.把手、4.橡胶垫、5.凹槽、100.光罩搬运装置、200.光罩

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，在图中可能未示出某些公知的部分。

优选实施例：

本优选实施例公开一种光罩搬运装置100。如图1所示，该光罩搬运装置100，包括固定支架1、滑轨装置2、至少2个锁紧装置3，固定支架1、滑轨装置2固定连接于2个锁紧装置3之间，固定支架1和滑轨装置2呈平行。

如图2所示，滑轨装置2包括滑轨支架20、第一拉紧锁止装置21、第二拉紧锁止装置22、第一锁紧抓钩23、第二锁紧抓钩24；滑轨支架20为两端可伸缩的套式滑轨结构，在整个搬运装置100中起左右伸缩的作用；第一拉紧锁止装置21和第二拉紧锁止装置22设置在所述滑轨支架20的套式滑轨结构上，用于拉紧固定套式滑轨结构；滑轨支架20两末端为所述第一锁紧抓钩23和第二锁紧抓钩24。