[实用新型]一种用于复杂器件CT扫描成像的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及失效分析无损检测领域，特别是指一种用于复杂器件CT扫描成像的装置。

背景技术

随着当今电子工业技术的飞速进步，元器件产品无论从设计结构、材料选用、制造工艺、封装工艺方面都进行着日新月异的发展，并且失效方式也错综复杂，这对失效点的位置确定带来了很大的困难。对于复杂失效件这种唯一性的样件，在未确定失效位置的情况下，不得轻易进行破坏性分析，这时就需要用到非破坏性的内部检查方式来确定失效位置，X射线是最好的检测手段。但是在目前X射线的检测领域，对于复杂结构元器件，其内部结构往往具有多层或者阵列结构，2D成像的X射线检测成像技术难以对样件遮挡区域进行有效的区分和辨识，这为缺陷的定位带来了较大的困难，因此引进了X射线CT扫描成像技术，利用CT成像技术可实现被检测样件的3D透视结构成像，从而弥补2D成像技术对复杂结构元器件的结构检测方面的不足。CT扫描成像技术可以清除的展现样件不同层的内部特征，从而发现其失效的位置，作为失效分析后续实验的依据。

然而就目前的X射线CT扫描成像设备来说，普通元器件失效样件该CT设备完全可以胜任检测工作，但对于模块类、机械类或者较重的样件时却无法满足上机测试的需求，从而给这类样件的失效分析工作带来了不便。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种能够满足模块类、机械类或者较重的样件上机测试需求的CT扫描成像的装置。

基于上述目的本实用新型提供的一种用于复杂器件CT扫描成像的装置，包括：夹盘和承载模具；

所述夹盘包括盘体、活动卡爪和卡爪驱动机构，所述盘体顶部的中央位置沿轴向设置有贯通的孔，与所述孔连通的沿径向等夹角的设置有三条滑槽，所述滑槽的截面为工字型，所述活动卡爪卡接在工字型的滑槽内，所述卡爪驱动机构包括大锥齿轮和小锥齿轮，所述大锥齿轮一面为平面螺纹结构，另一面设置沿径向向外侧凸出的齿部，所述小锥齿轮包括调节孔和转轮，所述转轮与所述大锥齿轮设置有沿径向向外侧凸出的齿部的一面咬合；所述大锥齿轮和所述盘体同轴设置；

所述承载模具包括托盘、连接杆和限位卡件，所述托盘底部设置有插槽，所述连接杆一端设置在所述插槽内，所述连接杆的另一端与所述限位卡件连接；

所述限位卡件设置在所述盘体的孔内。

进一步地，所述活动卡爪上设置有等间距且呈阶梯状的凸起，所述相邻的凸起之间设置有与所述凸起宽度相等的凹槽。

进一步地，所述连接杆的横截面为矩形。

进一步地，所述连接杆的横截面为梯形。

进一步地，所述限位卡件为矩形的板状结构。

进一步地，所述限位卡件与所述连接杆栓接。

进一步地，两个活动卡爪位于所述限位卡件下方，另外一个活动卡爪位于所述限位卡件上方。

从上面所述可以看出，本实用新型提供的用于复杂器件CT扫描成像的装置，包括：夹盘和承载模具；所述夹盘包括盘体、活动卡爪和卡爪驱动机构，所述承载模具包括托盘、连接杆和限位卡件。通过将承载模具卡接在夹盘内，能够完成模块类、机械类或者较重的样件的上机测试，给这类样件的失效分析工作带来了方便。

附图说明

图1为本实用新型实施例的夹盘结构示意图；

图2为本实用新型实施例的承载模具结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。

本实用新型实施例提供一种用于复杂器件CT扫描成像的装置，包括：夹盘和承载模具；所述夹盘包括盘体、活动卡爪和卡爪驱动机构，所述盘体顶部的中央位置沿轴向设置有贯通的孔，与所述孔连通的沿径向等夹角的设置有三条滑槽，所述滑槽的截面为工字型，所述活动卡爪卡接在工字型的滑槽内，所述卡爪驱动机构包括大锥齿轮和小锥齿轮，所述大锥齿轮一面为平面螺纹结构，另一面设置沿径向向外侧凸出的齿部，所述小锥齿轮包括调节孔和转轮，所述转轮与所述大锥齿轮设置有沿径向向外侧凸出的齿部的一面咬合；所述大锥齿轮和所述盘体同轴设置；所述承载模具包括托盘、连接杆和限位卡件，所述托盘底部设置有插槽，所述连接杆一端设置在所述插槽内，所述连接杆的另一端与所述限位卡件连接；所述限位卡件设置在所述盘体的孔内。

通过将承载模具卡接在夹盘内，能够完成模块类、机械类或者较重的样件的上机测试，给这类样件的失效分析工作带来了方便。