[实用新型]一种真空油扩散泵

说明书

技术领域

本实用新型属于机械设备领域，尤其涉及一种真空油扩散泵，主要是依靠真空油蒸汽喷射获得真空度的设备。

背景技术

扩散泵是目前获得真空的最广泛、最主要的工具之一。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。真空油扩散泵是一种蒸气射流泵，其工作原理以把工作介质(扩散泵油)的动能在抽气方向上传给被抽气体为基础。扩散泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口排除的过程。现有技术利用电热板直接对扩散泵底部的钢板进行加热。具体为扩散泵底部钢板中把加热管的热量传导给扩散泵油，扩散泵油沸腾，从而形成扩散。这种直接对钢板加热的方式会使加热管和底板在长期加热过程中变形，最终导致扩散泵提前损毁，而且由于加热面积受限，加热速度慢，影响蒸发效率；而且虽然存在冷却装置，但是仍有部分油蒸汽会从气体入口返流进入到被抽容器，影响了扩散泵的性能；在扩散泵停止工作时，会有气体从气体出口反抽进入泵体内，使真空油变质劣化；由于环境温度及冷却水温度的变化，会出现加热器功率过大或过小而影响扩散泵的抽速。

针对上述问题，提出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空油扩散泵。

为实现上述实用新型目的，本实用新型的技术方案是：一种真空油扩散泵，包括进气口8、泵体3、油腔2、出气口11，泵体3外壁上的冷凝管5以及设置在泵体3内的多个喷嘴4、导流管9，泵体下部还包括加热器1，加热器1上方设有泵体底板13，泵体底板13上设有大量环形同心沟槽，同心沟槽的设计增大了油腔中真空油的受热面积，加快了蒸发效率。泵体3还包括测温及其控制系统14，测温及其控制系统14包括测温热电阻、可控硅模块及温控仪，测温热电阻由陶瓷护管套装，温控仪与测温热电阻电连接，可控硅模块与加热器1电连接，加热器1与测温热电阻电连接。测温及其控制系统14的设计，可以监测油腔内真空油的温度，并根据温度变化来调控加热器的功率，从而达到油温稳定节约电能的目的。

进一步的，进气口8还包括冷栅7。

进一步的，出气口11还设有单向阀10。

更进一步的，喷嘴4为伞形喷嘴。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型主要用来抽真空使用，在机械泵作为前级泵提供一定的真空度，然后扩散泵通过真空油的蒸发蒸汽进一步抽真空，这里用来直接加热的泵体底板设有同心沟槽，增大了加热面积；并且设有温控系统，可以监测油腔中真空油的温度变化，从而调整加热器的加热功率，冷栅的设置防止气体返流回抽真空的容器中；在停止抽真空时单向阀的设置防止气体进入泵体内部影响真空油的质量。

附图说明

当结合附图考虑时，通过参照下面的详细描述，能够更完整更好地理解本实用新型以及容易得知其中许多伴随的优点，但此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定，其中：

图1是本实用新型的真空油扩散泵结构示意图；

图1中：1-加热器，2-油腔，3-泵体，4-喷嘴，5-冷凝管，7-冷栅，8-进气口，9-导流管，10-单向阀，11-出气口，13-本体底板，14-测温及其控制系统。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1，一种真空油扩散泵，包括进气口8、泵体3、油腔2、出气口11，泵体3外壁上的冷凝管5以及设置在泵体3内的多个喷嘴4、导流管9，泵体下部还包括加热器1，加热器1上方设有泵体底板13，加热器1通过直接对泵体底板13进行加热来加热油腔2中的真空油，泵体底板13上设有大量环形同心沟槽，同心沟槽的设计增大了油腔中真空油的受热面积，加快了蒸发效率。

泵体3还包括测温及其控制系统14，测温及其控制系统14包括测温热电阻、可控硅模块及温控仪，测温热电阻由陶瓷护管套装，温控仪与测温热电阻电连接，可控硅模块与加热器1电连接，加热器1与测温热电阻电连接。测温及其控制系统14的设计，可以监测油腔内真空油的温度，并根据温度变化来调控加热器的功率，从而达到油温稳定节约电能的目的。

进气口8还设有冷栅7，在冷栅处进行进一步的冷却，避免了油蒸汽的反流，提高效率。

出气口11还设有单向阀10，当停止抽真空时，单向阀10关闭，防止外界气体通过出气口进入泵体内部，影响真空油的质量。

喷嘴4为伞形喷嘴，喷嘴多级同心设置，从内层到外层高度逐级降低。

综上所述，该实用新型的真空油扩散泵的泵体底板设有同心沟槽，增大了加热面积；并且设有温控系统，可以监测油腔中真空油的温度变化，从而调整加热器的加热功率，冷栅的设置防止气体返流回抽真空的容器中；在停止抽真空时单向阀的设置防止气体进入泵体内部影响真空油的质量。