[实用新型]组合式高精度质量流量控制系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于气体流量计量装置的组合式高精度质量流量控制系统。

背景技术

现有技术中的对气体流量的控制一般通过单一性能的测量装置实现，只能针对特定技术参数进行监控，气体流量控制具有较大的局限性，量程范围小，不能兼顾不同的量程，精度不高，特别是微小流量的情况下难以精确控制，流量调节困难；而直接使用气体减压阀调节流量，也存在流量调节不准确、耗时较长、可测量程范围窄等问题，并且影响微小气体流量计量的准确性。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种能够精确测量气体流量，量程范围大，测量精度高的组合式高精度质量流量控制系统。

本实用新型的组合式高精度质量流量控制系统，与气源连接有进气管路，进气管路经过一组计量仪器后，连接到后续检测装置上；所述一组计量仪器为三路并联的流量计量装置；所述三路并联的流量计量装置为并联连接的大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器、针阀；所述大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器、针阀入口处分别设置有独立球阀，气源入口的进气管部分设置有精密调压阀、压力传感器、温度传感器；

所述气源前端入口处还设置有精密过滤器；

所述大量程流量高精度质量流量控制器测量范围为0～500 sccm，小量程流量高精度质量流量控制器测量范围为0～50sccm，大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器的准确度都为±1%FS。

本实用新型的组合式高精度质量流量控制系统，采用两组量程范围不同的高精度质量流量控制器和一组高灵敏度针阀并联组合，扩展了微小流量计量装置的可测流量范围；使用质量流量控制器作为流量调节装置，能够快速响应设置流量点，比使用调压阀调节流量大大缩短了时间，降低了时间成本；使用高精密调压阀与针阀组合使用，实现了量程范围两端的流量调节更快速简便；扩展了可测量程范围，实现了检测流量点快速调节，提高了微小气体流量计量的准确性。

附图说明

图1是本实用新型实施例的组合式高精度质量流量控制系统原理示意图。

具体实施方式

如图所示，一种组合式高精度质量流量控制系统，与气源连接有进气管路，进气管路经过一组计量仪器后，连接到后续检测装置上；所述一组计量仪器为三路并联的流量计量装置；所述三路并联的流量计量装置为并联连接的大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器、针阀；每个大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器、针阀入口处设置有独立球阀，气源入口的进气管部分设置有精密调压阀、压力传感器、温度传感器；气源前端入口处还设置有精密过滤器；大量程流量高精度质量流量控制器测量范围为0～500 sccm，小量程流量高精度质量流量控制器测量范围为0～50sccm，大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器的准确度都为±1%FS；气源入口的进气管部分设置有精密调压阀、压力传感器、温度传感器，根据检测需要调整气压，并通过压力传感器、温度传感器检测进气管压力、温度参数；气源前端入口处还设置有精密过滤器以过滤空气中的灰尘、杂质；进气管经三路并联的检测装置检测后连接到后续被测仪表和出口管路上。

本实用新型并联连接两组量程范围不同的高精度质量流量控制器系统和一组高灵敏度针阀调节系统，一组大量程流量高精度质量流量控制系统包括高精密调压阀，球阀，大量程流量高精度质量流量控制器，大量程流量高精度质量流量控制器量程范围为（0～500）sccm，准确度为±1%FS；另外一组小量程流量高精度质量流量控制系统包括高精密调压阀，球阀，小量程流量高精度质量流量控制器，小量程流量高精度质量流量控制器量程范围为（0～50）slpm，准确度为±1%FS；一组高灵敏度针阀调节系统包括高精密调压阀，球阀，针阀；通过调节调压阀，可实现小流量和大流量的设置。

根据气体流量计量程范围选择相应的质量流量控制系统，打开所选系统对应的球阀，同时关闭其余两组球阀。使用高精度质量流量控制器或调节针阀和高精密调压阀设置检测流量点；通过一套流量调节系统使用三组质量流量控制系统，扩展了微小流量计量装置的可测流量范围；使用质量流量控制器作为流量调节装置，能够快速响应设置流量点，比使用调压阀调节流量大大缩短了时间，降低了时间成本；使用高精密调压阀与针阀组合使用，实现了量程范围两端的流量调节更快速简便。

本实用新型的组合式高精度质量流量控制系统，采用两组量程范围不同的高精度质量流量控制器和一组高灵敏度针阀并联组合，扩展了微小流量计量装置的可测流量范围；使用质量流量控制器作为流量调节装置，能够快速响应设置流量点，比使用调压阀调节流量大大缩短了时间，降低了时间成本；使用高精密调压阀与针阀组合使用，实现了量程范围两端的流量调节更快速简便；扩展了可测量程范围，实现了检测流量点快速调节，提高了微小气体流量计量的准确性。