[实用新型]一种加镓的AZO高密度旋转靶材有效
| 申请号： | 201720016160.4 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN206579222U | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 胡茂横;张剑华 | 申请（专利权）人： | 深圳恒泰克科技有限公司 |
| 主分类号： | B32B9/00 | 分类号： | B32B9/00;B32B9/04;B32B15/04;B32B15/18;B32B1/08;C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司44384 | 代理人： | 高早红,谢亮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 azo 高密度 旋转 | ||
【权利要求书】：
1.一种加镓的AZO高密度旋转靶材，其特征在于：
包括由外至内依次设置的靶管、铟层和刚性芯杆；
其中，靶管为高密度加镓的AZO陶瓷烧结旋转圆柱靶管，靶管通过铟层浇铸粘接在刚性芯杆上；
所述靶管成分为氧化锌ZnO、氧化铝Al2O3和氧化镓Ga2O3，其厚度为5-15mm；
所述铟层为纯铟，所述刚性芯杆为金属芯杆。
2.根据权利要求1所述的AZO高密度旋转靶材，其特征在于：所述刚性芯杆为钛管或不锈钢管。
3.根据权利要求1所述的AZO高密度旋转靶材，其特征在于：所述靶管的密度为5.60-5.65g/cm3，并且，其相对密度不小于98％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳恒泰克科技有限公司，未经深圳恒泰克科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720016160.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电磁屏蔽玻璃
- 下一篇：一种含有石墨涂层的导热导电网纱
