[实用新型]基板搬送机构的吸嘴模组

权利要求书

1.一种基板搬送机构的吸嘴模组，其特征在于，包括：模组滑轨、模组气缸、模组滑板、升降气缸、吸嘴固定板、吸嘴、负压气管、真空发生器和机架；所述模组滑轨和模组气缸固定在机架上，模组滑板可滑动的设在模组滑轨上，模组滑板与模组气缸的活塞杆连接，升降气缸垂直固定在模组滑板上表面，升降气缸的活塞杆向下穿过模组滑板，吸嘴固定板固定在升降气缸的活塞杆上，吸嘴固定在吸嘴固定板下表面，真空发生器与吸嘴之间通过负压气管连接，吸嘴固定板上固定有脱模机构；所述脱模机构包括双联气缸、双联气缸固定板和压板，双联气缸固定板固定在吸嘴固定板的边缘处，双联气缸固定在双联气缸固定板上，双联气缸与吸嘴固定板垂直设置，压板固定在双联气缸的活塞杆上，压板位于吸嘴固定板下方。

2.根据权利要求1所述的基板搬送机构的吸嘴模组，其特征在于：所述吸嘴固定板与模组滑板平行设置，吸嘴固定板上垂直固定有四根升降导杆，模组滑板上对应升降导杆的位置固定有升降导套，升降导杆可滑动的穿过升降导套。

3.根据权利要求2所述的基板搬送机构的吸嘴模组，其特征在于：所述模组滑轨有两条，两条模组滑轨相互平行，模组滑轨的两端均设有限位挡块；所述模组滑轨上设有模组滑块，模组滑板固定在模组滑块上。