[实用新型]高精度薄膜压力传感器

权利要求书

1.一种高精度薄膜压力传感器，包括开口呈浅“U”形的圆形膜片(1)，下端焊接所述圆形膜片(1)、中心开圆孔、上端焊接弹性体的支撑座(2)，下端焊接在所述支撑座(2)的上部边缘、带有中心梁(31)的“E”形弹性体(3)，穿过所述支撑座(2)的中心圆孔、下端焊接在所述圆形膜片(1)中心、上端焊接在所述弹性体(3)的中心梁(31)处的传力柱(4)和外壳(5)组成，其特征在于：所述弹性体(3)外周焊接有支撑电路板的电路板支架(33)，所述电路板支架(33)上固定有电路板(34)；所述弹性体(3)是采用溅射薄膜技术在弹性体上表面(32)上制造有四个应变电阻(38)并形成惠斯电桥，当所述圆形膜片(1)受到压力作用时，均匀分布的压力通过所述传力柱(4)集中并传递到所述弹性体(3)的中心梁(31)上，所述弹性体上表面(32)上的所述四个应变电阻(38)阻值发生变化，惠斯电桥失去平衡，通过一端焊接在焊盘(39)、另一端焊接在所述电路板(34)的内引线(35)输出与所受压力成比例的电信号；所述电信号通过焊接在所述电路板(34)上的外引线(36)向外输出。

2.如权利要求1所述的高精度薄膜压力传感器，其特征在于：所述圆形膜片(1)采用不锈钢、钛、非晶材料中的一种制成。

3.如权利要求1所述的高精度薄膜压力传感器，其特征在于：所述电路板(34)上方灌注有保护所述电路板(34)、所述内引线(35)和所述外引线(36)的质软保护胶(37)。