[实用新型]一种陶瓷旋转靶材邦定的金属密封系统有效

专利信息
申请号: 201720023307.2 申请日: 2017-01-06
公开(公告)号: CN206366646U 公开(公告)日: 2017-08-01
发明(设计)人: 胡茂横 申请(专利权)人: 深圳恒泰克科技有限公司
主分类号: B22D19/04 分类号: B22D19/04;C04B37/02;C23C14/34
代理公司: 深圳市中科创为专利代理有限公司44384 代理人: 高早红,谢亮
地址: 518000 广东省深圳市坪山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 陶瓷 旋转 靶材邦定 金属 密封 系统
【权利要求书】:

1.一种陶瓷旋转靶材邦定的金属密封系统,其特征在于:

包括金属背管和套置在金属背管外部的第一陶瓷旋转靶材,其中,金属背管和第一陶瓷旋转靶材在底部由一堵头密封形成空腔;

金属背管的管内设置有内加热器,并且,第一陶瓷旋转靶材的外部设置有外加热器;

金属背管和第一陶瓷旋转靶材之间的空腔内浇铸有低熔点金属绑定层。

2.根据权利要求1所述的金属密封系统,其特征在于:还包括套置在金属背管外部的至少一第二陶瓷旋转靶材,第二陶瓷旋转靶材叠加在第一陶瓷旋转靶材的上部,并且,第二陶瓷旋转靶材与第一陶瓷旋转靶材之间放置有一密封垫片,第二陶瓷旋转靶材与金属背管之间的空腔内浇铸有低熔点金属绑定层。

3.根据权利要求2所述的金属密封系统,其特征在于:密封垫片设置为两半式金属垫片。

4.根据权利要求3所述的金属密封系统,其特征在于:密封垫片设置的两半式金属垫片之间通过相互紧密适配的凹凸部连接形成。

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