[实用新型]一种砷化镓多晶合成装置

权利要求书

1.一种砷化镓多晶合成装置,包括从外到内依次设置的合成炉体、石墨保温罩和石墨坩埚，石墨坩埚内设有若干氮化硼坩埚，石墨坩埚的底部连接有石墨坩埚杆，石墨坩埚和石墨保温罩之间设有加热器，其特征在于：所述加热器为环形，加热器沿周向分布在石墨坩埚的外侧，所述石墨保温罩的内壁从上到下设有若干个保温罩环形凸台，加热器的外壁上设有若干个加热器环形凸台，保温罩环形凸台与加热器环形凸台的位置相适配；单个加热器环形凸台压靠在对应的保温罩环形凸台上；保温罩环形凸台与加热器环形凸台在横向方向上的宽度均小于石墨保温罩的内壁到加热器外壁的间距；加热器环形凸台压放在保温罩环形凸台上；加热器的内侧壁上沿圆周方向设有凸出于加热器的内侧壁的防撞条，防撞条在竖向方向上依次间隔分布，防撞条靠近石墨坩埚的内侧面上设有若干个乳状凸起。

2.根据权利要求1所述的砷化镓多晶合成装置，其特征在于：防撞条在横向方向上的厚度为石墨坩埚外壁与加热器内壁间距的四分之一。

3.根据权利要求1所述的砷化镓多晶合成装置，其特征在于：防撞条为弧形，防撞条弧形的半径与加热器内侧壁的弧形半径相等。

4.根据权利要求1所述的砷化镓多晶合成装置，其特征在于：防撞条为石墨材质。

5.根据权利要求1所述的砷化镓多晶合成装置，其特征在于：保温罩环形凸台的截面形状为“L”形，加热器环形凸台的截面形状为倒“L”形，保温罩环形凸台与加热器环形凸台相扣合。

6.根据权利要求1所述的砷化镓多晶合成装置，其特征在于：保温罩环形凸台与加热器环形凸台的材质为石墨。

7.根据权利要求1所述的砷化镓多晶合成装置，其特征在于：乳状凸起的表面涂覆有颜色层。

8.根据权利要求1所述的砷化镓多晶合成装置，其特征在于：加热器环形凸台位于所对应的保温罩环形凸台的上侧。