[实用新型]一种防止可控硅芯片氧化的芯片储存柜

权利要求书

1.一种防止可控硅芯片氧化的芯片储存柜，包括冰柜（1）和氮气罐（3），其特征在于：所述冰柜（1）的一侧设有输送管道（2），输送管道（2）的一端连接冰柜（1）的侧壁，输送管道（2）的另一端连接氮气罐（3）的顶部出口处，在所述氮气罐（3）和冰柜（1）的内侧设置有减压阀（4）、第一压力表（5）、第二压力表（6）、气体控制盒（7）、调压阀（8）和湿度显示器（9），所述减压阀（4）的底部固定连接输送管道（2），减压阀（4）的外侧壁连接有第一压力表（5），第一压力表（5）位于气体控制盒（7）的一侧，所述气体控制盒（7）安装在输送管道（2）上，气体控制盒（7）固定连接输送管道（2）的外表面，气体控制盒（7）的侧表面上安装有第二压力表（6）、调压阀（8）和湿度显示器（9），调压阀（8）位于第二压力表（6）和湿度显示器（9）的内侧，气体控制盒（7）通过输送管道（2）连接冰柜（1），冰柜（1）包括柜体（10）、柜门（11）和湿度传感器（12），柜体（10）活动连接柜门（11）的一端，柜体（10）的内侧安装有湿度传感器（12）。

2.根据权利要求1所述的一种防止可控硅芯片氧化的芯片储存柜，其特征在于：所述减压阀（4）靠近氮气罐（3）的顶部出口处。

3.根据权利要求1所述的一种防止可控硅芯片氧化的芯片储存柜，其特征在于：所述柜体（10）与柜门（11）的连接处密封性能良好。

4.根据权利要求1所述的一种防止可控硅芯片氧化的芯片储存柜，其特征在于：所述湿度传感器（12）通过信号连接线连接湿度显示器（9）。